恭喜应用材料公司陈志坚获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利用于吸附用于沉积工艺的掩模的基板支撑件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113711343B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080012402.7，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权用于吸附用于沉积工艺的掩模的基板支撑件是由陈志坚;桑杰伊·D·雅达夫;元泰景;李军;邵寿潜;S·K·塞蒂设计研发完成，并于2020-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于吸附用于沉积工艺的掩模的基板支撑件在说明书摘要公布了：本公开内容的实施方式包括用于在沉积腔室中将掩模静电耦接到基板支撑件的方法和设备。在一个实施方式中，公开了一种基板支撑件，所述基板支撑件包括：基板接收表面；凹陷部分，所述凹陷部分围绕所述基板接收表面的周边设置；静电吸盘，所述静电吸盘设置在所述基板接收表面下方；和多个可压缩按钮，所述多个可压缩按钮设置在形成于与所述静电吸盘形成电路的所述凹陷部分中的相应开口内。
本发明授权用于吸附用于沉积工艺的掩模的基板支撑件在权利要求书中公布了：1.一种基板支撑件，所述基板支撑件包括：基板接收表面；凹陷部分，所述凹陷部分围绕所述基板接收表面的周边设置；静电吸盘，所述静电吸盘设置在所述基板接收表面下方；和多个可压缩按钮，所述多个可压缩按钮设置在相应凹坑内，所述相应凹坑形成于与所述静电吸盘形成电路的所述凹陷部分中，其中所述凹坑的大小被设定以接收掩模的掩模框架，每个可压缩按钮包括接触销，所述接触销可移动地设置在形成于所述凹陷部分中的盲孔中，并且弹性构件至少部分地设置在所述盲孔中，所述弹性构件用于使所述接触销偏置朝向所述掩模框架并且与所述掩模框架接触，并且其中利用所述静电吸盘来吸附所述掩模。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号