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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利处理套组外壳系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113906548B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080036984.2，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权处理套组外壳系统是由H·李;N·M·科佩奇;L·沃尔福夫斯基;D·R·麦考利斯特;A·施密特;J·胡金斯;Y·S·维什瓦纳坦;S·巴巴扬设计研发完成，并于2020-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本处理套组外壳系统在说明书摘要公布了：一种处理套组外壳系统，包括：用以封围内部容积的表面、包括第一鳍片的第一支撑结构、包括第二鳍片的第二支撑结构、以及用于将处理套组外壳系统与晶圆处理系统的装载端口接合的前接口。第一鳍片和第二鳍片被设置大小和间隔以在内部容积中保持处理套组环载具和处理套组环。每一个处理套组环经固定至处理套组环载具中的一者。处理套组外壳系统实现固定第一处理套组环的第一处理套组环载具从处理套组外壳系统到晶圆处理系统中的第一自动传送、以及固定第二处理套组环的第二处理套组环载具从晶圆处理系统到处理套组外壳系统中的第二自动传送。

本发明授权处理套组外壳系统在权利要求书中公布了：1.一种处理套组外壳系统，包含：多个表面，所述多个表面用于至少部分地封围所述处理套组外壳系统的内部容积；第一支撑结构，所述第一支撑结构包含第一多个趋近水平的鳍片；第二支撑结构，所述第二支撑结构包含第二多个趋近水平的鳍片，其中所述第一多个趋近水平的鳍片和所述第二多个趋近水平的鳍片被设置大小和间隔以在所述处理套组外壳系统的所述内部容积中保持多个处理套组环载具和多个处理套组环，所述多个处理套组环中的每一个处理套组环固定至所述多个处理套组环载具中的一个处理套组环载具；一个或多个固持装置，所述一个或多个固持装置用于将所述多个处理套组环中的每一个处理套组环固定至所述多个处理套组环载具中的对应的一个处理套组环载具，并且进一步用于在运送所述处理套组外壳系统期间将所述多个处理套组环载具中的每一个处理套组环载具固定在所述处理套组外壳系统内；以及前接口，所述前接口耦接至所述多个表面中的一个或多个表面以将所述处理套组外壳系统与晶片处理系统的装载端口接合，其中所述处理套组外壳系统实现固定第一处理套组环的第一处理套组环载具从所述处理套组外壳系统到所述晶片处理系统中的第一自动传送、以及固定第二处理套组环的第二处理套组环载具从所述晶片处理系统到所述处理套组外壳系统中的第二自动传送。

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