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恭喜东莞市升微机电设备科技有限公司晏玉碟获国家专利权

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龙图腾网恭喜东莞市升微机电设备科技有限公司申请的专利一种半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111550631B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010523108.4,技术领域涉及:F16L41/03;该发明授权一种半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构是由晏玉碟;韦名英;夏可瑜设计研发完成,并于2020-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构在说明书摘要公布了:本发明实施例公开了一种半挥发性有机物微型释放舱的半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构,用于解决现有的气路连接结构运用带有一定污染物的流量调节装置对气体流量进行调节,从而影响气路中气体洁净度的技术问题。本发明实施例包括洁净气源;所述洁净气源连通有供气支路和校准支路;所述校准支路上连接有质量流量计,并且所述校准支路上连接有至少一个校准供气管道,每个所述校准供气管道上设有校准控制开关,每个所述校准供气管道上连接有一个集气管,所述集气管上设置有流量调节阀;所述供气支路上连接有工作供气管道,每个所述工作供气管道上设有工作控制开关,所述工作供气管道与集气管相连通;所述集气管连通有微舱。

本发明授权一种半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构在权利要求书中公布了:1.一种半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构,其特征在于,包括洁净气源8;所述洁净气源8连通有供气支路4和校准支路3;所述校准支路3上连接有质量流量计5,并且所述校准支路3上连接有至少一个校准供气管道1,每个所述校准供气管道1上设有校准控制开关6,每个所述校准供气管道1上连接有一个集气管9,所述集气管9上设置有流量调节阀10;所述供气支路4上连接有与所述校准供气管道1的数量相匹配的工作供气管道2,每个所述工作供气管道2上设有工作控制开关7,所述工作供气管道2与集气管9相连通;所述集气管9连通有微舱11。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人东莞市升微机电设备科技有限公司,其通讯地址为:523000 广东省东莞市大朗镇大朗水新路221号3栋;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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