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恭喜极光先进雷射株式会社山中琢磨获国家专利权

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龙图腾网恭喜极光先进雷射株式会社申请的专利激光装置和电子器件的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116034522B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080103699.8,技术领域涉及:H01S3/139;该发明授权激光装置和电子器件的制造方法是由山中琢磨设计研发完成,并于2020-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。

激光装置和电子器件的制造方法在说明书摘要公布了:本公开的一个观点的激光装置具有:振荡器,其输出脉冲激光;旋转台,其支承被配置于脉冲激光的光路上的光学元件;光栅,脉冲激光经由光学元件入射到光栅;第1驱动机构,其驱动旋转台而变更入射到光栅的入射角度;第2驱动机构,其以比第1驱动机构小的驱动量驱动旋转台而变更入射到光栅的入射角度;波长监视器,其计测脉冲激光的中心波长;以及处理器,其周期性地变更脉冲激光的目标波长,根据目标波长和波长监视器的计测值向第2驱动机构输出驱动指令,将中心波长控制成目标波长,处理器在成为波长指令周期的整数倍的区间内计算第2驱动机构的驱动指令值的移动平均,在移动平均超过阈值的情况下,使第2驱动机构返回到初始位置,并且通过第1驱动机构的驱动来抵消由于该返回动作而引起的入射角度的变化。

本发明授权激光装置和电子器件的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种激光装置,其具有:振荡器,其输出脉冲激光;光学元件,其被配置于所述脉冲激光的光路上;旋转台,其支承所述光学元件;光栅,其被配置成,供所述脉冲激光经由所述光学元件入射,使与所述脉冲激光的入射角度对应的波长的衍射光返回到所述振荡器;第1驱动机构,其驱动所述旋转台而使所述光学元件旋转,由此变更所述脉冲激光入射到所述光栅的入射角度;第2驱动机构,其以比所述第1驱动机构小的驱动量驱动所述旋转台而使所述光学元件旋转,由此变更所述脉冲激光入射到所述光栅的入射角度;波长监视器,其计测所述脉冲激光的中心波长;以及处理器,其周期性地变更所述脉冲激光的目标波长,根据所述目标波长和所述波长监视器的计测值向所述第2驱动机构输出驱动指令来变更所述入射角度,由此将所述中心波长控制成所述目标波长,所述处理器在成为波长指令周期的整数倍的区间内计算所述第2驱动机构的驱动指令值的移动平均,在所述计算出的移动平均超过阈值的情况下,使所述第2驱动机构返回到初始位置,并通过所述第1驱动机构的驱动来抵消由于使所述第2驱动机构返回到所述初始位置而引起的所述入射角度的变化,所述波长指令周期是周期性地变更所述目标波长的周期。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人极光先进雷射株式会社,其通讯地址为:日本栃木县;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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