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龙图腾网恭喜深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利翘曲校正方法、承载装置及承载系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113078094B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110319952.X，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权翘曲校正方法、承载装置及承载系统是由陈鲁;李少雷;张朝前;马砚忠;卢继奎;张嵩设计研发完成，并于2021-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本翘曲校正方法、承载装置及承载系统在说明书摘要公布了：本申请公开了一种翘曲校正方法、承载装置及承载系统，承载装置获取吸附件的吸附面与待测件之间的第一距离；当吸附件的吸附面与待测件之间的第一距离大于第一预设距离，且小于或等于第二预设距离时，确定吸附件为第一目标吸附件，第二预设距离大于第一预设距离；控制驱动装置带动第一目标吸附件向待测件移动；当第一距离小于或等于第一预设距离时，控制第一目标吸附件吸附待测件；控制驱动装置带动吸附件向远离待测件的方向移动，直至第一目标吸附件的底部与容置槽的底部抵接。通过分布在承载本体上不同位置的吸附件对不同区域的待测件进行吸附，从而使待测件的不同区域均能够通过真空吸附的方式进行压平，从而提高待测件的检测精度。

本发明授权翘曲校正方法、承载装置及承载系统在权利要求书中公布了：1.一种翘曲校正方法，其特征在于，应用于承载装置，所述承载装置包括承载本体、多个吸附件、测距组件以及多个驱动装置，所述承载本体的承载面设有容置槽，所述吸附件远离所述容置槽的一端设有吸附面，所述吸附面用于吸附待测件，另一端收容于所述容置槽，并与所述驱动装置连接且一一对应，并且所述驱动装置用于单独带动所述对应的吸附件沿所述承载面的法线方向移动，所述方法包括：获取所述吸附件的吸附面与所述待测件之间的第一距离；当所述吸附件的吸附面与所述待测件之间的第一距离大于第一预设距离，且小于或等于第二预设距离时，确定所述吸附件为第一目标吸附件，所述第二预设距离大于所述第一预设距离；控制所述驱动装置带动所述第一目标吸附件向所述待测件移动；当所述第一距离小于或等于所述第一预设距离时，控制所述第一目标吸附件吸附所述待测件；控制所述驱动装置带动所述吸附件向远离所述待测件的方向移动，直至所述第一目标吸附件的底部与所述容置槽的底部抵接；所述吸附件包括吸附部与支撑部，所述支撑部的一端与所述驱动装置连接，另一端与所述吸附部活动连接，所述吸附部能够与所述支撑部发生相对转动，所述控制所述驱动装置带动所述第一目标吸附件向所述待测件移动，包括：根据所述第一距离确定所述待测件的翘曲度；根据所述翘曲度，确定所述驱动装置的移动距离；控制所述驱动装置带动所述第一目标吸附件根据所述移动距离进行移动。

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