买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利磁控溅射磁发生装置及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115679276B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110830286.6，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权磁控溅射磁发生装置及半导体工艺设备是由俞振铎;赵磊;石子骞设计研发完成，并于2021-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本磁控溅射磁发生装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种磁控溅射磁发生装置及半导体工艺设备，磁控溅射磁发生装置用于设置于半导体工艺设备中的靶材上方，磁控溅射磁发生装置的第一旋转件围绕靶材的轴线旋转，第二旋转件可转动的设置于第一旋转件的一端，且第二旋转件的一端设置磁发生部件，限位组件包括限位部件和位置调节部件，限位部件和位置调节部件中的一者设置于第一旋转件上，另一者则设置于第二旋转件上；位置调节部件包括位置可调节的位置调节件，位置调节件用于在第一旋转件和第二旋转件相对转动时与限位部件相抵，通过改变位置调节件与限位部件相抵的位置，调整磁发生部件围绕第一旋转件的轴心旋转的半径。本发明能够提高磁控溅射工艺调试的便捷性，提高设备使用的灵活性。

本发明授权磁控溅射磁发生装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射磁发生装置，用于设置于半导体工艺设备中的靶材上方，包括第一旋转件、第二旋转件、限位组件和用于产生电磁场的磁发生部件，其中，所述第一旋转件围绕所述靶材的轴线旋转，所述第二旋转件可转动的设置于所述第一旋转件的一端，且所述第二旋转件的一端设置磁发生部件，其特征在于，所述限位组件包括限位部件和位置调节部件，所述限位部件和所述位置调节部件中的一者设置于所述第一旋转件上，另一者则设置于所述第二旋转件上；所述位置调节部件包括位置可调节的位置调节件，所述位置调节件用于在所述第一旋转件和所述第二旋转件相对转动时，与所述限位部件相抵，通过改变所述位置调节件与所述限位部件相抵的位置，调整所述磁发生部件围绕所述第一旋转件的轴心旋转的半径；所述限位部件包括第一限位件和第二限位件，所述第一限位件和所述第二限位件间隔设置，并均固定设置在所述第一旋转件上；所述位置调节件包括第一位置调节件和第二位置调节件，所述第一位置调节件和所述第二位置调节件均活动设置于所述第二旋转件上；所述第二旋转件相对所述第一旋转件逆时针旋转时，所述第一限位件和所述第一位置调节件相抵；所述第二旋转件相对所述第一旋转件顺时针旋转时，所述第二限位件和所述第二位置调节件相抵；所述第一位置调节件可沿第一方向调节位置，所述第二位置调节件可沿第二方向调节位置，所述第一方向为所述第一限位件和所述第二旋转件的轴心连线的垂直方向；和或，所述第二方向为所述第二限位件和所述第二旋转件的轴心连线的垂直方向。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。