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龙图腾网恭喜苏州康沃斯智能装备有限公司申请的专利一种晶圆喷砂双供料机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113910109B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111373280.7，技术领域涉及：B24C1/08；该发明授权一种晶圆喷砂双供料机是由高波设计研发完成，并于2021-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆喷砂双供料机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆喷砂双供料机，其包括喷砂机，喷砂机包括喷砂机本体和履带输送机，喷砂机本体设置在履带输送机中部的上端，履带输送机的两端伸出喷砂机本体；喷砂机设置有两台，喷砂机分别设置在双供料机的左右两侧，双供料机包括工作台、双供料机构、搬运机构、输送机构和放料机械手；本发明通过双供料机构的设置，能同时向两个喷砂机供料，减少了上料的频率，通过搬运机构、输送机构和放料机械手能对晶圆自动进行搬运，提高了设备的自动化程度，避免了人工的搬运，大大提高晶圆喷砂的效率，通过气浮分离模组和输送机构的设置，减小了晶圆的叠片率，提高了晶圆喷砂上料的稳定性，保证了喷砂质量。

本发明授权一种晶圆喷砂双供料机在权利要求书中公布了：1.一种晶圆喷砂双供料机，其包括喷砂机2，喷砂机2包括喷砂机本体21和履带输送机22，所述喷砂机本体21设置在履带输送机22中部的上端，所述履带输送机22的两端伸出喷砂机本体21，其特征在于：所述喷砂机2设置有两台，所述喷砂机2分别设置在双供料机1的左右两侧，所述双供料机1包括工作台3、双供料机构4、搬运机构5、输送机构6和放料机械手7，双供料机构4设置在工作台3的前部，其包括结构相同的左供料机构和右供料机构，其用于储放晶圆8，所述输送机构6设置有两个且设置在工作台3的中部，两个所述输送机构6分别设置在左供料机构和右供料机构的后侧，所述搬运机构5用于将晶圆8从双供料机构4内搬运到输送机构6上，其设置有两个且分别设置在两个所述输送机构6的外侧，所述输送机构6上设置有用于检测单双片的传感器63，当输送机构6上的晶圆8为单片时，通过放料机械手7将晶圆8搬运到履带输送机22上，所述放料机械手7左右对称设置有两个，其分别设置在两个所述输送机构6的后侧；所述左供料机构包括第一安装板41、顶升机构42、顶盘43、顶升杆44、定位座45和定位杆46，顶升机构42固定在第一安装板41的下方，其输出端与顶升杆44固定连接，所述顶升杆44的上端固定安装有顶盘43，所述第一安装板41的上方设置有定位座45，所述定位座45上成环形阵列设置有若干个定位杆46，所述定位座45的中心处开设有用于通过顶盘43的避让孔，晶圆8放置在定位杆46的中间；所述左供料机构还包括导向座47、第一气缸48和支座49，所述导向座47上开设有导向槽471，所述导向槽471的后侧为一字槽，其前侧为弧型槽，所述定位座45的左右两端通过销轴设置在导向槽471内，所述定位座45的后方设置有第一气缸48，所述第一气缸48的活塞杆与定位座45的后端转动连接，其后端转动安装在支座49上；所述输送机构6包括传输机61、第二电机62、传感器63和收料盒64，所述传输机61沿Y轴设置，其与第二电机62传动连接，所述收料盒64设置在传输机61远离双供料机构4的一端的尾部，其向下倾斜设置，所述传感器63设置有若干个，其安装在晶圆8的传输路径上。

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