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龙图腾网恭喜深圳大学申请的专利微型流量传感器的单片集成设计方法、制造方法及传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114186529B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111490269.9，技术领域涉及：G06F30/398；该发明授权微型流量传感器的单片集成设计方法、制造方法及传感器是由许威;李芝娟;方泽涛设计研发完成，并于2021-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本微型流量传感器的单片集成设计方法、制造方法及传感器在说明书摘要公布了：本发明公开了微型流量传感器的单片集成设计方法、制造方法及传感器。单片集成设计方法包括：构建微加热器的热电耦合等效模型；对微带线组件进行传热解析分析得到热学信息，其中微带线组件由微加热器及两对热敏电阻组成；根据微加热器的热电耦合等效模型及恒温差控制电路结构构建第一等效电路模型；并构建与两对热敏电阻对应的第二等效电路模型；对第一等效电路模型及第二等效电路模型进行力‑热‑电耦合得到系统级等效电路模型。通过上述方法，可耦合具有热物理性质的传热解析模型建立与温湿度关联的非线性系统级等效模型，以实现高效模拟温湿度变化对传感器输出的影响，并可基于系统级模型快速对MEMS微结构及CMOS接口电路进行协同设计与优化。

本发明授权微型流量传感器的单片集成设计方法、制造方法及传感器在权利要求书中公布了：1.一种微型流量传感器的单片集成设计方法，其特征在于，所述传感器包括设置于基片上的微带线组件、恒温差控制电路及电流反馈仪表放大器；所述微带线组件由微加热器及两对热敏电阻组成，一对所述热敏电阻设置于所述微加热器的上游，另一对所述热敏电阻设置于所述微加热器的下游；所述方法包括：根据热效应的金氏定律和能量守恒定律构建所述微加热器的热电耦合等效模型；所述热电耦合等效模型为：；其中A是考虑传导、辐射和自然对热的热损失，BUn是热边界层的强对流换热，Th和Ta分别为微加热器的工作温度和环境温度，为密度，为热容，为体积，为时间，Rh为微加热器的电阻值，I为微加热器上的电流值；根据所述微型流量传感器的传热解析模型对所述微带线组件进行传热解析，以获取所述微带线组件对应的热学解析信息；根据所述热电耦合等效模型及所述恒温差控制电路的电路结构构建第一等效电路模型；所述第一等效电路模型为反馈电路的等效电路模型；所述反馈电路由所述微加热器及所述恒温差控制电路组成；所述热学解析信息为：；其中、、和分别是湿空气的热导率、密度和热容，是热边界层，h是基片底腔的高度，是薄膜热导率，t是薄膜的厚度；所述薄膜为微加热器及热敏电阻在基片上所形成的薄膜结构；根据预置的阻值函数及所述热学解析信息构建与所述两对热敏电阻对应的第二等效电路模型；所述第二等效电路模型为，R0是热敏电阻在参考环境温度T0=25℃的阻值，α为线性电阻温度系数，Tx为热学解析信息中的解；根据所述传热解析模型对所述第一等效电路模型及所述第二等效电路模型进行力-热-电耦合，以得到与所述传感器对应的系统级等效电路模型。

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