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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利清洗设备的卡盘装置及清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114975222B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210757438.9，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权清洗设备的卡盘装置及清洗设备是由王瑞轩;陈忠明设计研发完成，并于2022-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本清洗设备的卡盘装置及清洗设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种清洗设备的卡盘装置及清洗设备，其中卡盘装置包括：卡盘主体、喷嘴、供气管路和安装组件；其中，卡盘主体底部设置有安装孔，喷嘴设置在安装孔中且不与卡盘主体连接；喷嘴内部开设有用于向第一气体通道输送气体的第二气体通道；用于安装喷嘴的安装组件包括直通管，供气管路设置于该直通管中；直通管的外周面与安装孔的内周面之间形成有环状狭缝；喷嘴内部还开设有第三气体通道，第三气体通道的进气口与供气管路连通；第三气体通道的出气口朝向背离承载面的一侧且对应于环状狭缝的顶端设置，用以向环状狭缝通气，以能够利用向下的气流防止倒吸，从而避免吹向晶圆表面的气体携带有微小颗粒，保证晶圆的成品率。

本发明授权清洗设备的卡盘装置及清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种清洗设备的卡盘装置，包括卡盘主体，所述卡盘主体具有用于承载晶圆的承载面；所述卡盘主体内部开设有第一气体通道，所述第一气体通道的出气口开设在所述承载面上，用以向所述晶圆通气；其特征在于，所述卡盘装置还包括：喷嘴、供气管路和安装组件；其中，所述卡盘主体内设置有安装孔，所述喷嘴设置在所述安装孔中且不与所述卡盘主体连接；所述喷嘴内部开设有第二气体通道，所述第二气体通道的出气口与所述第一气体通道的进气口连通，所述第二气体通道的进气口与所述供气管路连通，以向所述第一气体通道输送气体；所述安装组件用于将所述喷嘴安装在所述安装孔中；所述安装组件包括直通管，所述直通管的顶端与所述喷嘴连接且位于所述安装孔中，所述供气管路位于所述直通管内；所述直通管的外周面与所述安装孔的内周面之间形成有环状狭缝；所述喷嘴内部还开设有第三气体通道，所述第三气体通道的进气口与所述供气管路连通；所述第三气体通道的出气口朝向背离所述承载面的一侧且对应于所述环状狭缝的顶端设置，用以向所述环状狭缝通气。

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