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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115739801B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211500870.6，技术领域涉及：B08B3/08；该发明授权一种清洗设备是由林立;王毅恒;张明设计研发完成，并于2022-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种清洗设备在说明书摘要公布了：本发明实施例提供了一种清洗设备包括：清洗槽、管路和控制器；管路包括汇聚管路、第一排液管路和第二排液管路；汇聚管路设有第一阀门；第一排液管路设有第二阀门；第二排液管路设有第三阀门；控制器用于当注入第一液体时，控制第二阀门打开，第三阀门关闭；当接收到第一液体排放指令时，控制第一阀门打开，使第一液体从第一排液管路排出；当注入第二液体时，控制第二阀门关闭，第三阀门打开；当接收到第二液体排放指令时，控制第一阀门打开，使第一液体从第二排液管路排出。通过控制排酸阀门和排水阀门不能同时开启，将液体的排出由汇聚管路上的阀门决定，有效隔绝人为错误排放造成的厂务管道溶解、坍塌，杜绝安全隐患，保护系统和人员安全。

本发明授权一种清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种清洗设备，其特征在于，包括：清洗槽、管路和控制器；所述管路包括汇聚管路、用于排放第一液体的第一排液管路和用于排放第二液体的第二排液管路；所述汇聚管路一端汇聚需要排放的液体，另一端连接所述第一排液管路和所述第二排液管路；所述汇聚管路设有第一阀门，用于控制所述汇聚管路的通断；所述第一排液管路设有第二阀门，用于控制所述第一排液管路的通断；所述第二排液管路设有第三阀门，用于控制所述第二排液管路的通断；所述控制器用于当向清洗槽注入所述第一液体时，控制所述第二阀门打开，所述第三阀门关闭；当接收到所述第一液体排放指令时，控制所述第一阀门打开，以使所述第一液体从所述第一排液管路排出；所述第二阀门和所述第三阀门互斥，所述第一阀门用于控制所述第一排液管路和所述第二排液管路的液体的排出；所述控制器用于当向清洗槽注入所述第二液体时，控制所述第二阀门关闭，所述第三阀门打开；当接收到所述第二液体排放指令时，控制所述第一阀门打开，以使所述第一液体从所述第二排液管路排出。

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