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龙图腾网恭喜南京工程学院申请的专利一种基于原子层沉积的二硫化钽薄膜制备装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116005134B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310007115.2，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种基于原子层沉积的二硫化钽薄膜制备装置及方法是由黄亚洲;谷蓝翔;邵银峰;汪超;陈玉蒙;杨东方设计研发完成，并于2023-01-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于原子层沉积的二硫化钽薄膜制备装置及方法在说明书摘要公布了：本发明实施例公开了一种基于原子层沉积的二硫化钽薄膜制备装置及方法，涉及微纳米制造技术领域，能够减少合成生长的温度，以便于较少能耗和元器件损耗，从而增加元件使用寿命，减低使用成本。本发明包括：源路Ⅰ、多温区协同固体源输送装置、源路Ⅱ、反应腔体装置、尾气处理装置。

本发明授权一种基于原子层沉积的二硫化钽薄膜制备装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种基于原子层沉积的二硫化钽薄膜制备方法，其特征在于，包括：步骤S1，启动腔体加热装置（4），将置有待沉积样品的反应腔体（3）加热到反应腔体的预设温度，保持反应腔体保持预设温度并达到第一预设时间；步骤S2，启动多温区协同固体源输送装置，对源路Ⅰ进行加热，其中，固体源加热装置1（1）、固体源加热装置2（15）、固体源加热装置3（16）和固体源加热装置4（19）各自的加热区域作为第一温区至第四温区，分别对Ta源（18）、手动阀V1（17）、气动阀V11（13）和管路进行加热；步骤S3，打开手动阀V1（17）并经由第一载气流量计（20）通入载气，形成Ta源蒸气送入反应腔体（3），手动阀V1（17）保持开启直至达到第三预设时间后关闭；手动阀V1（17）关闭之后继续通入载气直至达到第四预设时间；步骤S4，打开手动阀V2（11）并经由第二载气流量计（14）通入载气,形成硫化氢送入反应腔体（3），手动阀V2（11）保持开启直至达到第五预设时间后关闭；手动阀V2（11）关闭之后继续通入载气直至达到第六预设时间；固体源加热装置1（1）贴近从气动阀V11（13）至所述反应腔体装置之间的管路安装，固体源加热装置1（1）的加热范围作为第一温区，所述第一温区的加热范围至少覆盖了从气动阀V11（13）至所述反应腔体装置之间的管路；固体源加热装置2（15）贴近气动阀V11（13）安装，固体源加热装置2（15）的加热范围作为第二温区，所述第二温区的加热范围至少覆盖了气动阀V11（13）；固体源加热装置3（16）贴近手动阀V1（17）安装，固体源加热装置3（16）的加热范围作为第三温区，所述第三温区的加热范围至少覆盖了手动阀V1（17）；固体源加热装置4（19）贴近Ta源（18）安装，固体源加热装置4（19）的加热范围作为第四温区，所述第四温区的加热范围至少覆盖了Ta源（18）；第一温区至第四温区的预设加热温度分别为T1～T4，T1∈[50℃，250℃]，T2∈[50℃，250℃]，T3∈[50℃，250℃]，T4∈[50℃，250℃]，且T1＜T2＜T3＜T4；每个温区达到自己的预设加热温度后，维持温度直至第二预设时间，其中，1min≤第二预设时间≤120min。

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