恭喜西安奕斯伟材料科技股份有限公司李安杰获国家专利权
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龙图腾网恭喜西安奕斯伟材料科技股份有限公司申请的专利一种检测孪晶缺陷的方法、装置及介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117276109B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311270098.8,技术领域涉及:H01L21/66;该发明授权一种检测孪晶缺陷的方法、装置及介质是由李安杰;邹亚辉;徐鹏设计研发完成,并于2023-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种检测孪晶缺陷的方法、装置及介质在说明书摘要公布了:本公开实施例提供了一种检测孪晶缺陷的方法、装置及介质。该方法可以包括:对历史拉晶参数进行聚类分析,获得至少一个聚类簇以及每个聚类簇的簇中心;在当前拉晶过程中,实时采集当前拉晶参数;获取所述当前拉晶参数与各所述聚类簇的簇中心的第一距离;根据第一距离确定与所述当前拉晶参数最接近的聚类簇;当所述当前拉晶参数大于其最接近的聚类簇对应的判定阈值时,确定所述当前拉晶参数将导致拉晶过程中产生孪晶缺陷。
本发明授权一种检测孪晶缺陷的方法、装置及介质在权利要求书中公布了:1.一种检测孪晶缺陷的方法,其特征在于,所述方法包括:对历史拉晶参数进行聚类分析,获得至少一个聚类簇以及每个聚类簇的簇中心;其中,所述历史拉晶参数包括已拉制完成且存在孪晶缺陷的晶棒在拉晶过程中的拉晶参数,每个聚类簇对应于一种产生孪晶缺陷的原因;在当前拉晶过程中,实时采集当前拉晶参数;获取所述当前拉晶参数与各所述聚类簇的簇中心的第一距离;根据第一距离确定与所述当前拉晶参数最接近的聚类簇;当所述当前拉晶参数大于其最接近的聚类簇对应的判定阈值时,确定所述当前拉晶参数将导致拉晶过程中产生孪晶缺陷;其中,每个聚类簇均对应至少一个参数因素,且每个参数因素均对应设置有判定阈值。
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