恭喜江苏先导微电子科技有限公司冯长卫获国家专利权
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龙图腾网恭喜江苏先导微电子科技有限公司申请的专利导向组件以及工艺腔体获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222613447U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420378058.9，技术领域涉及：C23C14/22；该实用新型导向组件以及工艺腔体是由冯长卫;袁铮;何坤鹏设计研发完成，并于2024-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本导向组件以及工艺腔体在说明书摘要公布了：提供一种导向组件以及工艺腔体。导向组件包括底座、支架以及多个滚动体：底座用于固定到腔体上；支架从底座向上延伸；多个滚动体环绕设置在支架上，多个滚动体成对径向对齐并间隔开并形成上下方向贯通的间隙，多个滚动体用于引导盖板组件的导向杆穿过间隙、滚动地夹持导向杆朝向腔体向下运动以导向杆固定到腔体上。工艺腔体包括盖板组件和腔体，盖板组件包括盖板以及导向杆，盖板用于向下盖在腔体的开口端；导向杆从盖板向下延伸；工艺腔体还包括前述的导向组件。在本公开的导向组件以及工艺腔体中，对位精度要求低、成本低，操作简单，对工人的安装技术要求低。
本实用新型导向组件以及工艺腔体在权利要求书中公布了：1.一种导向组件，其特征在于，包括底座1、支架2以及多个滚动体3：底座1用于固定到腔体200上；支架2从底座1向上延伸；多个滚动体3环绕设置在支架2上，多个滚动体3成对径向对齐并间隔开并形成上下方向D贯通的间隙G，多个滚动体3用于引导盖板组件100的导向杆100b穿过间隙G、滚动地夹持导向杆100b朝向腔体200向下运动以导向杆100b固定到腔体200上。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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