恭喜北京北方华创微电子装备有限公司洪英洁获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利聚焦环、工艺腔室及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222619680U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420514807.6，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型聚焦环、工艺腔室及半导体工艺设备是由洪英洁;陈永锋;成晓艳设计研发完成，并于2024-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本聚焦环、工艺腔室及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种聚焦环、工艺腔室及半导体工艺设备，涉及半导体领域。一种聚焦环，包括：环本体和扇形的调节件；所述环本体沿自身轴线的一端设有环形表面，所述调节件设于所述环形表面，并在轴线方向上凸出于所述环形表面；所述调节件的圆心角小于180°。本申请能够解决产品刻蚀后的功能层厚度不均匀等问题。
本实用新型聚焦环、工艺腔室及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种聚焦环，其特征在于，包括：环本体110和扇形的调节件120；所述环本体110沿自身轴线的一端设有环形表面111，所述调节件120设于所述环形表面111，并在轴线方向上凸出于所述环形表面111；所述调节件120的圆心角小于180°。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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