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龙图腾网恭喜无锡尚积半导体科技股份有限公司申请的专利双工位寻边机构及晶圆定位装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119008489B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410942948.2，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权双工位寻边机构及晶圆定位装置是由范雄;王兆丰;田文康;王世宽设计研发完成，并于2024-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本双工位寻边机构及晶圆定位装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种双工位寻边机构及晶圆定位装置，晶圆定位装置包括双工位寻边机构、工作腔和晶圆传送机构，双工位寻边机构包括第一载具、第一旋转驱动组件、第二载具、第二旋转驱动组件和检测组件，第一载具和第二载具用于承接晶圆，载具接取晶圆后，通过对应的旋转驱动组件驱使其携晶圆旋转，待晶圆旋转至其上的缺口处于检测工位时，检测组件能够捕获缺口信息，从而确认晶圆被调整为预设状态；第一载具包括第一连接部和托爪，托爪设于第一连接部的下表面，第二载具包括第二连接部和顶柱，顶柱设于第二连接部的上表面，两组载具沿竖直方向相对设置、使得两片待寻边的晶圆能够就近安置，既能够优化设备结构，又有利于提高寻边效率。

本发明授权双工位寻边机构及晶圆定位装置在权利要求书中公布了：1.一种双工位寻边机构，其特征在于，包括：第一载具（10）和第一旋转驱动组件（30），所述第一载具（10）用于承接晶圆，所述第一旋转驱动组件（30）用于驱使所述第一载具（10）旋转；第二载具（20）和第二旋转驱动组件（40），所述第二载具（20）用于承接晶圆，所述第二旋转驱动组件（40）用于驱使所述第二载具（20）旋转；其中，所述第一载具（10）包括：第一连接部（11），用于连接所述第一旋转驱动组件（30）；至少两个托爪（12），至少两个所述托爪（12）间隔设置在所述第一连接部（11）的下表面、并能够配合承托一片晶圆；所述第二载具（20）包括：第二连接部（21），用于连接所述第二旋转驱动组件（40）；至少两个顶柱（22），至少两个所述顶柱（22）间隔设置在所述第二连接部（21）的上表面、并能够配合支撑一片晶圆；所述第一载具（10）和所述第二载具（20）沿竖直方向相对设置；所述双工位寻边机构还包括检测组件（50），所述检测组件（50）用于检测晶圆的缺口；寻边过程中，所述第一旋转驱动组件（30）驱使所述第一载具（10）旋转至晶圆的缺口位于第一预设位置时，或者，所述第二旋转驱动组件（40）驱使所述第二载具（20）旋转至晶圆的缺口位于第二预设位置时，所述检测组件（50）能够检测到缺口，从而确认晶圆实现寻边定位；所述第一预设位置与所述第二预设位置沿所述竖直方向相对设置；所述检测组件（50）包括：第一检测件（51），设于所述第一预设位置上方，所述第一检测件（51）发出的检测信号能够朝向所述第一预设位置倾斜延伸；第二检测件（52），设于所述第二预设位置下方，所述第二检测件（52）发出的检测信号能够朝向所述第二预设位置倾斜延伸；多面反射镜（53），设于所述第一预设位置和所述第二预设位置之间；所述多面反射镜（53）包括：第一反射面，所述第一反射面正对所述第一检测件（51），所述第一检测件（51）发出的检测信号能够垂直射向所述第一反射面；第二反射面，所述第二反射面正对所述第二检测件（52），所述第二检测件（52）发出的检测信号能够垂直射向所述第二反射面。

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