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龙图腾网恭喜深圳市新凯来技术有限公司申请的专利基板、卡盘及刻蚀机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119069392B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411535810.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板、卡盘及刻蚀机是由陈奕文;王剑亮设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板、卡盘及刻蚀机在说明书摘要公布了：本申请提供了一种基板、卡盘及刻蚀机，其中，基板包括：基体，基体具有第一表面，基体的内部设置有第一流道，第一流道具有第一端口和第二端口，第一端口和第二端口均位于第一表面，第一流道包括依次首尾相连的多个子流道，多个子流道中包括蛇形盘绕子流道、至少三个U型子流道以及至少两个弧形子流道，蛇形盘绕子流道与第一端口连通，至少一个弧形子流道与第二端口连通。本申请能够在加工待加工晶圆的过程中，提高待加工晶圆的均温性，从而提高待加工晶圆的加工一致性。

本发明授权基板、卡盘及刻蚀机在权利要求书中公布了：1.一种基板，其特征在于，包括：基体，所述基体包括第一表面及与所述第一表面相对的第二表面，所述第二表面用于朝向卡盘的盖板设置，所述基体的内部设置有第一流道，所述第一流道用于流通冷却水，所述第一流道具有第一端口和第二端口，所述第一端口和所述第二端口均位于所述第一表面，所述第一流道包括依次首尾相连的多个子流道，所述多个子流道中包括至少三个第一子流道和多个第二子流道，所述第一子流道为U型子流道；至少一个所述第二子流道相比其他所述子流道更加靠近所述第一表面的边缘，更加靠近所述第一表面的边缘的所述第二子流道沿第一方向的尺寸大于其他所述子流道沿所述第一方向的尺寸，所述第一方向为所述第一表面至所述第二表面的方向，所述基体的内部还设置有第二流道，所述第一表面上设置有通孔，所述通孔与所述第二流道连通，所述第二流道相比所述第一流道更加远离所述第一表面，所述通孔用于作为冷却气体的进气口，所述冷却气体用于经所述盖板的盖板通孔吹入至待加工晶圆表面；所述第二流道包括第三子流道、第四子流道以及位于所述第三子流道外围的多个第五子流道，所述第三子流道具有开口，所述第四子流道连接于至少一个所述通孔与所述开口之间；所述第三子流道的侧壁上设置有至少两组凹陷部，所述开口与第一组所述凹陷部之间的具有第一距离，所述开口与第二组所述凹陷部之间具有第二距离，所述第一距离与所述第二距离相同。

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