恭喜中国电子科技集团公司第十研究所阎德劲获国家专利权
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龙图腾网恭喜中国电子科技集团公司第十研究所申请的专利一种基于超快激光烧蚀的引线键合装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119069372B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411549880.8,技术领域涉及:H01L21/607;该发明授权一种基于超快激光烧蚀的引线键合装置及方法是由阎德劲;贾贤石;王聪;徐俊洋;文磊;林奈;吴磊设计研发完成,并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于超快激光烧蚀的引线键合装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于超快激光烧蚀的引线键合装置及方法,涉及超快激光焊接应用技术领域,该装置包括超快激光加工系统、夹具和定位系统,利用超快激光器产生飞秒量级超快脉冲光束,通过反射镜调节激光路径,再通过振镜与聚焦镜系统,将入射激光束在样品表面聚焦,其次利用相机的显微成像定位金丝使其紧贴于样品表面,随后开启激光器使激光在样品表面按指定路径实现烧蚀溅射。金属材料在飞秒激光烧蚀下产生的溅射将部分附着在金丝与金属表面接触处边缘并逐渐沉积,随后高温熔融物通过热传导加热金丝与金属表面形成键合,形成稳定焊接。本发明提高了引线键合强度和效率。
本发明授权一种基于超快激光烧蚀的引线键合装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种基于超快激光烧蚀的引线键合方法,其特征在于,所述方法基于超快激光烧蚀的引线键合装置实现,所述装置包括:超快激光加工系统,所述超快激光加工系统包括激光加工光路和运动平台,所述激光加工光路用于产生超短脉冲光束,并将所述超短脉冲光束聚焦于金属材料表面,所述运动平台包括指定激光路径,所述运动平台用于放置金属材料并由超短脉冲光束按照所述指定激光路径对金属材料进行加工;夹具,所述夹具用于将引线固定在金属材料表面;定位系统,所述定位系统包括照明光路和显微成像光路,用于实时检测定位引线;所述方法包括:将金属材料放置于运动平台上,并将待键合引线与金属材料表面夹紧;由定位系统实时检测定位引线,确保引线键合在指定位置,超快激光加工系统按照指定激光路径进行激光加工,金属材料在激光烧蚀下发生熔融烧蚀溅射并产生金属熔融物,金属熔融物附着并逐渐沉积在金丝与金属材料接触处边缘并铺展开来,随后金属熔融物通过热传导加热金丝与金属表面形成焊接或键合。
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