买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜洛阳中硅高科技有限公司申请的专利一种碳化硅晶体沉积装置及碳化硅晶体制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119082857B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411578765.3，技术领域涉及：C30B25/00；该发明授权一种碳化硅晶体沉积装置及碳化硅晶体制备方法是由刘见华;万烨;袁振军;张邦洁;梁君;孙凯歌设计研发完成，并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种碳化硅晶体沉积装置及碳化硅晶体制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于半导体设备技术领域，具体涉及一种碳化硅晶体沉积装置及碳化硅晶体制备方法，通过先在预热混合模块的进料混合腔室中进行原料气体的混合以及利用沉积室尾气对换热腔室中的混合气体进行换热预热，从而将原料气体预热至接近还原炉内沉积温度，降低进料位置与还原炉内其他区域的温度梯度，使得原料在低温下进入沉积室内能快速在更高温度的载体表面开始反应沉积，提升晶体沉积效率的同时也实现了尾气的回收利用；并且通过设置光源催化和活性金属层，物料分子在光和活性金属的双重催化预处理下，有利于提高物料分子能量，降低反应的活化能，促使反应在低温下能够进行，这样物料能够进行快速充分反应，从而有利于提升碳化硅晶体的沉积效率。

本发明授权一种碳化硅晶体沉积装置及碳化硅晶体制备方法在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅晶体沉积装置，其特征在于，包括：依次设置的预热混合模块、光催化反应模块以及沉积室；所述预热混合模块包括进料混合腔室和包围在所述进料混合腔室外部的换热腔室，所述混合腔室的一端用于与各进料管路连接，所述换热腔室通过循环管路与所述沉积室的排气管路连接，以将所述沉积室排出的尾气引入到混合腔室中对混合物料进行预热，所述混合腔室的另一端与所述光催化反应模块的进料端口连接；所述光催化反应模块的出料端口与所述沉积室的进气管路连接，所述光催化反应模块沿着物料流动方向设置有活化光源和活化金属镀层，用于对经所述预热混合模块预热后的混合物料进行活化和催化分解，以提高进入到所述沉积室的物料活性；所述光催化反应模块包括：活化筒体；所述活化筒体的一端与所述进料混合腔室通过第一连接管路连接，所述活化筒体的另一端通过第二连接管路与所述沉积室的进气管路连接；所述活化光源设置在所述活化筒体内，所述活化光源的长度延伸方向与所述活化筒体的中心轴线方向平行，所述活化金属镀层设置在所述活化筒体的内侧壁上；所述活化光源通过支撑架固定在所述活化筒体内部，所述活化光源的长度延伸与所述活化筒体的中心轴线重叠。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人洛阳中硅高科技有限公司，其通讯地址为：471100 河南省洛阳市孟津县先进制造业开发区华夏大道101号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。