恭喜常熟理工学院史曼芸获国家专利权
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龙图腾网恭喜常熟理工学院申请的专利基于混合激活函数网络的晶圆缺陷检测IGP处理单元获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119205796B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411737691.3,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权基于混合激活函数网络的晶圆缺陷检测IGP处理单元是由史曼芸;张夏玮;刘佳妮;王佳怡;谢志鑫;张贵阳;吴春彪;杨兰玉;孙国栋设计研发完成,并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于混合激活函数网络的晶圆缺陷检测IGP处理单元在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于混合激活函数网络的晶圆缺陷检测IGP处理单元,包括:CPU,用于任务的调度、计算资源的管理、控制逻辑的实现;NPU,用于运行晶圆缺陷检测神经网络算法,完成晶圆缺陷检测;所述晶圆缺陷检测神经网络算法包括激活函数,优化激活函数运算,使用帕德逼近算法拟合,进一步拟合激活函数;存储阵列,用于完成晶圆图像数据的存储和训练数据的存储;图像采集卡,用于高速接收成像设备对晶圆表面成像的数据,并将图像数据通过数据总线向中央处理器和神经网络处理单元进行传递。以ARMCPU和NPU的混合硬件结构为基础,通过引入帕德逼近算法改进网络的精度和计算效率,有效提高晶圆缺陷检测的精度和速度。
本发明授权基于混合激活函数网络的晶圆缺陷检测IGP处理单元在权利要求书中公布了:1.一种基于混合激活函数网络的晶圆缺陷检测IGP处理单元,其特征在于,包括:中央处理器CPU,用于任务的调度、计算资源的管理、控制逻辑的实现;神经网络处理单元NPU,用于运行晶圆缺陷检测神经网络算法,完成晶圆缺陷检测;所述晶圆缺陷检测神经网络算法的激活函数包括Tanh激活函数和Sigmoid函数,优化激活函数运算,使用帕德逼近算法拟合,进一步拟合激活函数;所述晶圆缺陷检测神经网络算法的网络架构融合Draknet-53、特征金字塔和深度森林,其中包含卷积、池化、转置卷积、激活函数多种计算单元,所述晶圆缺陷检测神经网络算法的特征提取部分的激活函数使用Tanh激活函数,而在模型检测头部分的激活函数使用Sigmoid函数;存储阵列,用于完成晶圆图像数据的存储和训练数据的存储;高速接口组件,包括多种类型的数据传输接口;图像采集卡,用于高速接收成像设备对晶圆表面成像的数据,并将图像数据通过数据总线向中央处理器和神经网络处理单元进行传递;所述中央处理器CPU、神经网络处理单元NPU、存储阵列、高速接口组件和图像采集卡通过数据总线连接。
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