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龙图腾网恭喜信越化学工业株式会社申请的专利层叠体的制造方法及基板的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111146133B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911047453.9，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权层叠体的制造方法及基板的制造方法是由田边正人;菅生道博设计研发完成，并于2019-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本层叠体的制造方法及基板的制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种层叠体的制造方法，其能够介由临时粘合材料容易地接合基板与支撑体，热工序耐受性优异，也容易剥离，能够提高薄型基板的生产率。所述制造方法介由临时粘合材料接合应加工背面的基板的非加工面与支撑体，其特征在于，其具有：在基板的非加工面及支撑体中的任意一者或两者上层叠临时粘合材料的工序a；在开始接合前预先加热基板与支撑体的工序b；介由临时粘合材料接合基板与支撑体的工序c，在工序b中，将基板加热至50℃以上250℃以下的温度、将支撑体加热至50℃以上250℃以下且与所述基板不同的温度，同时在工序c中，以预先加热的基板的温度与支撑体的温度不同的状态开始接合。

本发明授权层叠体的制造方法及基板的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种层叠体的制造方法，其为介由临时粘合材料接合应对背面进行加工的基板的非加工面与支撑体的层叠体的制造方法，其特征在于，作为所述临时粘合材料，使用至少具有位于所述基板侧的第一临时粘合材料层A与比该第一临时粘合材料层A更靠近所述支撑体侧的第二临时粘合材料层B的2层以上的临时粘合材料，并且，所述第一临时粘合材料层A与所述第二临时粘合材料层B的熔融粘度比αβ以25℃下的熔融粘度比计为10以下、以100℃以上200℃以下的最低熔融粘度比计为100以上，所述层叠体的制造方法具有：在所述基板的非加工面及所述支撑体中的任意一者或两者上层叠所述临时粘合材料的工序a；在开始接合前预先加热所述基板与所述支撑体的工序b；介由所述临时粘合材料接合所述基板与所述支撑体的工序c，在所述工序b中，将所述基板加热至50℃以上250℃以下的温度、将所述支撑体加热至50℃以上250℃以下且与所述基板不同的温度，且同时在所述工序c中，以预先加热的所述基板的温度与所述支撑体的温度不同的状态开始接合。

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