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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利具有清扫功能的用于腐蚀性气体的蒸气储蓄器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114207182B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080051881.3，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权具有清扫功能的用于腐蚀性气体的蒸气储蓄器是由盖瑞·布里杰·利德;班亚·翁森纳库姆;约瑟亚·科林斯;哈拉尔德·特妮珍惠斯设计研发完成，并于2020-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有清扫功能的用于腐蚀性气体的蒸气储蓄器在说明书摘要公布了：提供了用于半导体处理操作，例如原子层沉积操作的蒸气储蓄器。这种蒸气储蓄器可以包括填充有惰性气体的周边充气部容积，这可以减少或防止外部污染物泄漏到处理气体中。在一些实现方案中，储液器可由耐腐蚀材料构成以减少进入处理气体的内部污染物。

本发明授权具有清扫功能的用于腐蚀性气体的蒸气储蓄器在权利要求书中公布了：1.一种半导体处理装置，其包含：钟罩，其具有底部开口、布置在所述底部开口周围且从所述底部开口处径向向外延伸的一个或多个凸缘结构、以及密封表面；主O形环；板，其中：所述板具有第一侧、以及与所述第一侧相反的第二侧，所述钟罩定位成使所述密封表面与所述第一侧相邻，主O形环沟槽定位在选自以下项的一个或多个零件中：所述板的第一侧和所述钟罩的密封表面，所述主O形环至少部分地定位在所述主O形环沟槽内且夹在所述钟罩的密封表面和所述板的第一侧之间，所述板包含一个或多个流体密封界面，每一流体密封界面包含：i端口，其位于所述主O形环的内部周边内且从所述第一侧延伸穿过所述板到达所述第二侧；以及ii至少一个清扫气体出口，其位于所述板的第二侧上，且通过位于所述板内的对应的清扫气体通道而与位于所述板的所述第一侧的对应的清扫气体入口呈流体连接；一个或多个夹持结构，其具有靠近于所述板的所述第一侧的底面、以及从所述底面径向向内延伸且靠近所述一个或多个凸缘结构的内部凸缘；周边充气部容积，其至少部分由以下项限定：所述主O形环、所述主O形环沟槽的一部分、所述板的第一侧的一部分、所述密封表面的一部分，以及所述一个或多个凸缘结构中的每一者的至少一部分，其介于所述一个或多个夹持结构的所述内部凸缘与所述密封表面之间；一个或多个清扫廊道沟槽：a位于选自由以下项组成的群组的一个或多个零件中：所述板和所述一个或多个夹持结构；以及b布置在所述主O形环沟槽周围，所述一个或多个清扫廊道沟槽与所述周边充气部容积以及在所述装置内的每一清扫气体入口呈流体连接；以及清扫气体馈送入口，其与所述一个或多个清扫廊道沟槽呈流体连接。

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