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龙图腾网恭喜山东浪潮华光光电子股份有限公司申请的专利一种LED蒸发镀膜层真实物理厚度的测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115132598B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110317206.7，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种LED蒸发镀膜层真实物理厚度的测量方法是由徐晓强;程昌辉;吴向龙;闫宝华;王成新设计研发完成，并于2021-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种LED蒸发镀膜层真实物理厚度的测量方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种LED蒸发镀膜层真实物理厚度的测量方法。所述测量方法包括：1陪片制作；2膜层制作；3膜层厚度测量；4相对值计算；5膜层厚度计算。本发明通过陪片的引入实现了单炉次LED晶片表面蒸镀膜层的真实物理厚度的及时测量，只要将陪片位置固定，在首次测试厚度时计算得到该位置陪片表面蒸发镀膜层的真实物理厚度与需要测量位置的LED晶片表面蒸镀膜层的真实物理厚度相对值，之后每炉次的LED晶片表面蒸镀膜层的真实物理厚度测量只要测量陪片表面蒸发镀膜层的真实物理厚度即可，每炉次蒸镀制作后，仅仅需要对陪片表面蒸发镀膜层的真实物理厚度进行测量，就可以可以立即得到LED晶片表面蒸镀膜层的真实物理厚度。

本发明授权一种LED蒸发镀膜层真实物理厚度的测量方法在权利要求书中公布了：1.一种LED蒸发镀膜层真实物理厚度的测量方法，包括步骤如下：1陪片制作：清洁陪片表面后，使用粘性膜覆盖陪片表面的部分区域，备好待用；2膜层制作：将步骤1中的陪片放置于固定位置，然后和LED晶片一起进行蒸发镀膜层制作，蒸镀完成后将陪片取出；3膜层厚度测量：去除步骤2中的陪片表面的粘性膜，测量有粘性膜覆盖的区域和无粘性膜覆盖区域的高度差，即为陪片表面蒸发镀膜层的真实物理厚度；将步骤2中LED晶片取出后，在其表面制作保护图形，通过腐蚀的方法制作出测量图形，去胶后测量其厚度，即为LED晶片表面蒸镀膜层的真实物理厚度；4相对值计算：将步骤3得出的陪片表面蒸发镀膜层真实物理厚度和LED晶片表面蒸镀膜层的真实物理厚度进行差值计算，所得差值即为蒸镀位置导致的相对值；5膜层厚度计算：每次蒸镀前按照步骤1和步骤2进行蒸发镀膜层制作，制作完成后，按照步骤3测量陪片表面蒸发镀膜层的真实物理厚度，将陪片表面蒸发镀膜层的真实物理厚度数值减去相对值即为本次蒸镀后LED晶片表面蒸镀膜层的真实物理厚度。

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