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龙图腾网恭喜深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利光路调节方法、检测设备和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113075127B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110350348.3，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权光路调节方法、检测设备和存储介质是由陈鲁;白园园;马砚忠;张嵩设计研发完成，并于2021-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本光路调节方法、检测设备和存储介质在说明书摘要公布了：本申请实施方式的光路调节方法用于检测设备，检测设备包括泵浦光路及检测光路，泵浦光束沿泵浦光路传输至工件，检测光束沿检测光路传输至工件，光路调节方法包括：设置检测反射镜的反射面于工件所在位置，且使检测反射镜垂直于检测光束和泵浦光束所在的入射面；及调节泵浦光束的传播方向，和或调节检测光束的传播方向，使泵浦光路中泵浦光束与经检测反射镜反射后的检测光束重合，及检测光路中检测光束与经检测反射镜反射后的泵浦光束重合。光路调节方法和检测设备能够实现检测光束和泵浦光束相互配合，以入射至工件的同一位置从而对工件进行检测，从而提高检测准确性。

本发明授权光路调节方法、检测设备和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种光路调节方法，用于检测设备，所述检测设备包括泵浦光路及检测光路，泵浦光束沿所述泵浦光路传输至工件，检测光束沿所述检测光路传输至所述工件，其特征在于，所述光路调节方法包括：设置检测反射镜的反射面于所述工件所在位置，且使所述检测反射镜平行于所述检测光束和所述泵浦光束所在的入射面；及调节所述泵浦光束的传播方向，和或调节所述检测光束的传播方向，使所述泵浦光路中所述泵浦光束与经所述检测反射镜反射后的所述检测光束重合，及所述检测光路中所述检测光束与经所述检测反射镜反射后的所述泵浦光束重合；所述检测设备还包括汇聚透镜，所述检测光束，和或所述泵浦光束经改变传播方向后入射至所述汇聚透镜，所述汇聚透镜的光轴垂直于所述检测反射镜；所述检测设备包括设于所述泵浦光路的第一反射组件和设于所述检测光路的第二反射组件，所述第一反射组件用于改变所述泵浦光束的传播方向，所述第二反射组件用于改变所述检测光束的传播方向，所述泵浦光束经所述第一反射组件反射后入射至所述汇聚透镜，所述检测光束经所述第二反射组件反射后入射至所述汇聚透镜；其中：所述调节所述泵浦光束的传播方向，包括：调节所述第一反射组件的角度和或位置使所述泵浦光路中所述泵浦光束与经所述检测反射镜反射后的检测光束重合；所述调节所述检测光束的传播方向，包括：调节所述第二反射组件的角度和或位置使所述检测光路中所述检测光束与经所述检测反射镜反射后的泵浦光束重合；所述调节所述泵浦光束的传播方向，和或调节所述检测光束的传播方向，包括：设置双孔的第一光阑及双孔的第二光阑于所述第一反射组件和第二反射组件与所述汇聚透镜之间的光路，所述第一光阑的第一孔的中心与所述第二光阑的第一孔的中心形成第一连线，所述第一光阑的第二孔的中心与所述第二光阑的第二孔的中心形成第二连线，所述第一连线与所述第二连线平行；调节所述第一反射组件的角度和位置使所述泵浦光束通过所述第一光阑的第一孔和所述第二光阑的第一孔；和或调节所述第二反射组件角度和位置使所述检测光束通过所述第一光阑的第二孔和所述第二光阑的第二孔。

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