恭喜深圳中科飞测科技股份有限公司陈鲁获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利气浮承载设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114777826B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210352833.9,技术领域涉及:G01D11/00;该发明授权气浮承载设备是由陈鲁;张龙;方一;张嵩设计研发完成,并于2022-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本气浮承载设备在说明书摘要公布了:本发明实施例公开的一种气浮承载设备例如包括:承载层;间隔层,连接在承载层的一侧;气路连接层,连接在间隔层远离承载层的一侧;承载层、间隔层和气路连接层之间形成有用于气浮承载待测件的第一气压通道和第二气压通道;第一气压通道和第二气压通道分别从承载层上远离气路连接层的一侧依次穿过承载层、间隔层和气路连接层,并延伸到气路连接层上远离承载层的一侧。本发明提供的气浮承载设备通过设置第一气路通道和第二气路通道用于对待测件进行气浮承载,以提高气浮承载设备的气浮承载效果。
本发明授权气浮承载设备在权利要求书中公布了:1.一种气浮承载设备,其特征在于,包括:承载层;间隔层,连接在所述承载层的一侧;气路连接层,连接在所述间隔层远离所述承载层的一侧;其中,所述承载层、所述间隔层和所述气路连接层之间形成有用于气浮承载待测件的第一气压通道和第二气压通道;所述第一气压通道和所述第二气压通道分别从所述承载层上远离所述气路连接层的一侧依次穿过所述承载层、所述间隔层和所述气路连接层,并延伸到所述气路连接层上远离所述承载层的一侧;其中,所述承载层的中部设置有安装孔,所述间隔层的中部设置有与所述安装孔相连通且贯穿所述间隔层的第一定位孔,所述气路连接层的中部设置有与所述第一定位孔相连通且贯穿所述气路连接层的第二定位孔;所述气浮承载设备还包括翘曲矫正结构,所述翘曲矫正结构包括:矫正盘,固定在所述安装孔内且设置有第一矫正气压通道;导气件,连接所述矫正盘且设置在所述第一定位孔和所述第二定位孔内,所述导气件设置有第二矫正气压通道,所述第二矫正气压通道连通所述第一矫正气压通道;以及气路控制部件,连接在所述气路连接层远离承载面的一侧上,所述气路控制部件设置有第三矫正气压通道,所述第三矫正气压通道连通所述第二矫正气压通道。
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