恭喜北京航空航天大学;杭州市北京航空航天大学国际创新研究院(北京航空航天大学国际创新学院)温良恭获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京航空航天大学;杭州市北京航空航天大学国际创新研究院(北京航空航天大学国际创新学院)申请的专利基于微纳工艺的高精度对准装配方法、对准标记和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115064426B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210632563.7，技术领域涉及：H01J9/00；该发明授权基于微纳工艺的高精度对准装配方法、对准标记和应用是由温良恭;叶青河;孙统;胡洪设计研发完成，并于2022-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于微纳工艺的高精度对准装配方法、对准标记和应用在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基于微纳工艺的高精度对准装配方法、对准标记和应用，在制备电子枪后，在电子枪上形成相应的对准标记；慢波结构制备相应的对准标记；采用慢波结构的对准标记与电子枪的对准标记对准，实现对准成型。本发明通过利用微纳技术中常用的对准符号，将两个波导结构端口的对准转化为平面对准符的对准，实现高频，微尺寸结构器件的精准组装，大幅提高了对准组装的精度。可以实现小型化，集成化的行波管装配要求，可以有效提高信号的利用效率，减少信号的损耗，提高整体增益与输出功率。
本发明授权基于微纳工艺的高精度对准装配方法、对准标记和应用在权利要求书中公布了：1.基于微纳工艺的高精度对准装配方法，其特征在于，包括如下步骤：S1，在制备电子枪后，在电子枪上形成相应的对准标记；S2，慢波结构制备相应的对准标记；S3，采用慢波结构的对准标记与电子枪的对准标记对准，实现对准成型；S1和S2中，在制备相应的电子枪与慢波结构的同时，制备对准标记，同时，依据设计的尺寸参数，在对准层衬底上完成对准标记的定位制备，其尺寸定位与微纳结构和慢波结构相同；在制备的电子枪与慢波结构的同时标记对准标记，同时在对准层衬底上制备对准标记，三者在光刻机微电子设备中实现对准后，通过键合方式将结构组装起来，实现高精度行波管的对准与装配；结构不透光时，在结构的背面制备对准符号，在对准层衬底上制备对准标记，通过显微镜实现金属结构的对准；所述对准标记包括对准符对准、离轴对准、同轴对准、激光扫描视频图像对准或光栅对准。
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