恭喜应用材料公司车小洲获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利在处理腔室中的蒸气监控传感器组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222593998U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202290000561.X，技术领域涉及：C23C14/54；该实用新型在处理腔室中的蒸气监控传感器组件是由车小洲;格雷姆·贾米森·斯科特;理查德·古斯塔夫·哈格保;艾伦·H·欧叶;纳尔逊·A·易设计研发完成，并于2022-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本在处理腔室中的蒸气监控传感器组件在说明书摘要公布了：本文描述的一个或多个实施方式大致涉及用于使用传感器组件监控膜厚度的方法及系统。在本文描述的实施方式中，一种处理腔室具有：腔室主体、设置在腔室主体中的基板支撑件、设置在腔室主体上方的盖、及传感器组件，传感器组件在传感器组件的下部处耦接到腔室主体。传感器组件在传感器组件的上部处耦接到盖。传感器组件包括穿过传感器组件的一个或多个侧面设置的一个或多个孔，并且一个或多个传感器穿过一个或多个孔设置在传感器组件中。
本实用新型在处理腔室中的蒸气监控传感器组件在权利要求书中公布了：1.一种处理腔室，其特征在于，包含：腔室主体；基板支撑件，设置在所述腔室主体中；盖，设置在所述腔室主体上方；以及传感器组件，所述传感器组件在所述传感器组件的下部处耦接到所述腔室主体，所述传感器组件在所述传感器组件的上部处耦接到所述盖，所述传感器组件进一步包含：一个或多个孔，所述一个或多个孔穿过所述传感器组件的一个或多个侧面设置，以及一个或多个传感器，所述一个或多个传感器穿过所述一个或多个孔设置在所述传感器组件中。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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