恭喜沛顿科技(深圳)有限公司胡姗姗获国家专利权
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龙图腾网恭喜沛顿科技(深圳)有限公司申请的专利一种晶圆批量上料固定及保护装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222600941U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420495344.3，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种晶圆批量上料固定及保护装置是由胡姗姗;洪嘉;陈小钢;王玉;廖润钱;梁启鹏设计研发完成，并于2024-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆批量上料固定及保护装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体晶圆上料设备技术领域，且公开了一种晶圆批量上料固定及保护装置，包括左盖板、右盖板与上盖板，所述左盖板与右盖板分别位于上盖板的底端，且分别位于上盖板的底端两侧，所述左盖板与上盖板之间固定连接，所述右盖板与上盖板之间固定连接，本实用新型通过将右保护锁与左保护锁打开，将铁圈沿着同一个序号限位槽放入，可以让铁圈里的晶圆得到保护，右限位槽、左限位槽、第一后限位槽与第二后限位槽共处限位，使得铁圈及晶圆更稳定；下料后右保护锁与左保护锁处于左右方向，底部有处固定装置固定铁圈及铁圈上的晶圆本体，使得铁圈不会相互碰撞消除ESD问题；人工抽取晶圆本体时旁边铁圈被固定，不会碰到晶圆，避免划伤异常。
本实用新型一种晶圆批量上料固定及保护装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆批量上料固定及保护装置，包括左盖板1、右盖板2与上盖板3，其特征在于：所述左盖板1与右盖板2分别位于上盖板3的底端，且分别位于上盖板3的底端两侧，所述左盖板1与上盖板3之间固定连接，所述右盖板2与上盖板3之间固定连接，所述左盖板1与右盖板2的底端固定安装有下支撑板4，所述下支撑板4的底端分别固定安装有第一定位块5、第二定位块6与第三定位块11，所述第二定位块6与第三定位块11分别位于第一定位块5的左右两侧，所述下支撑板4的顶端设置有晶圆本体12；所述左盖板1的正面活动安装有左保护锁9，所述右盖板2的正面活动安装有右保护锁8，所述左保护锁9与右保护锁8分别位于晶圆本体12的左右两侧。
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