恭喜旭化成株式会社内藤一也获国家专利权
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龙图腾网恭喜旭化成株式会社申请的专利感光性树脂组合物获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115524922B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211076767.3,技术领域涉及:G03F7/004;该发明授权感光性树脂组合物是由内藤一也;落合真彦;小坂隼也设计研发完成,并于2018-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本感光性树脂组合物在说明书摘要公布了:提供:激光直接成像型曝光方式中,比以往使用的敏化剂灵敏度生产率、分辨率、密合性还优异的感光性树脂组合物;等。一种感光性树脂组合物,其包含以下的成分:A碱溶性高分子;B具有烯属不饱和双键的化合物;C光聚合引发剂;和,D光敏化剂,D光敏化剂包含通式2所示的二苯乙烯基苯衍生物。式2中,R3、R4、R5分别表示氰基,c、e分别独立地表示1~5的整数,而且,d表示0~4的整数。
本发明授权感光性树脂组合物在权利要求书中公布了:1.一种感光性树脂组合物,其包含以下的成分:A碱溶性高分子;B具有烯属不饱和双键的化合物;C光聚合引发剂;和,D光敏化剂,所述D光敏化剂的酸解离常数pKa大于9且小于12,且波长405nm的摩尔吸光系数为100M-1cm-1以上,其中,M为摩尔浓度的单位,所述摩尔吸光系数为溶剂使用丙酮时的值,所述A碱溶性高分子包含选自由以下的a-1和a-2组成的组中的1种以上的成分,a-1源自包含苯乙烯15~60质量%、以及选自由丙烯酸、甲基丙烯酸、丙烯酸酯、和甲基丙烯酸酯组成的组中的1种以上丙烯酸类单体的聚合成分的丙烯酸类共聚物;a-2源自包含甲基丙烯酸苄酯20~85质量%、以及选自由丙烯酸、甲基丙烯酸、丙烯酸酯、和甲基丙烯酸苄酯以外的甲基丙烯酸酯组成的组中的1种以上丙烯酸类单体的聚合成分的丙烯酸类共聚物,所述C光聚合引发剂包含六芳基联咪唑化合物。
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