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龙图腾网恭喜科文托尔公司申请的专利关键参数识别、工艺模型校准和可变性分析的系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN109145354B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201810629679.9，技术领域涉及：G06F30/398；该发明授权关键参数识别、工艺模型校准和可变性分析的系统和方法是由威廉·J·伊根;肯尼思·B·格雷纳;大卫·M·弗里德;安舒曼·孔瓦尔设计研发完成，并于2018-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本关键参数识别、工艺模型校准和可变性分析的系统和方法在说明书摘要公布了：本发明涉及关键参数识别、工艺模型校准和可变性分析的系统和方法。讨论了用于半导体器件制造的虚拟制造环境，该虚拟制造环境包括用于执行关键参数识别、工艺模型校准和可变性分析的分析模块。

本发明授权关键参数识别、工艺模型校准和可变性分析的系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种容纳用于虚拟半导体制造环境中的关键参数识别的计算机可执行指令的非暂时性计算机可读介质，所述指令在被执行时使得至少一个计算设备：对于要在计算设备生成的虚拟制造环境中虚拟制造的半导体器件结构接收2D设计数据和包括多个工艺的工艺序列的选择；基于使用所述2D设计数据和所述工艺序列的实验设计DOE利用所述计算设备执行用于所述半导体器件结构的多个虚拟制造运行，所述多个虚拟制造运行构建多个3D模型；接收针对所述半导体器件结构的一个或多个目标的用户标识；在所述虚拟制造环境中执行分析模块以针对从所述虚拟制造运行产生的所述多个3D模型中的所述一个或多个目标识别测量数据中的一个或多个异常值；针对所述多个3D模型中的所述一个或多个目标接收用户选择以从所述测量数据添加或去除所述一个或多个识别的异常值中的一个或多个，经由所述虚拟制造环境中设置的用户界面接收所述选择；在从所述测量数据添加或去除所选择的所述异常值之后，利用所述分析模块对所述一个或多个目标的所述测量数据执行回归分析；基于所述回归分析的结果，利用所述分析模块识别一个或多个关键参数；并且显示或导出所识别的所述一个或多个关键参数的标识。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人科文托尔公司，其通讯地址为：美国北卡罗来纳州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。