恭喜富士胶片株式会社井上遥菜获国家专利权
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龙图腾网恭喜富士胶片株式会社申请的专利感光性树脂组合物、固化膜、层叠体及它们的制造方法、半导体器件及在它们中使用的热产碱剂获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111919172B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201980022753.3,技术领域涉及:G03F7/004;该发明授权感光性树脂组合物、固化膜、层叠体及它们的制造方法、半导体器件及在它们中使用的热产碱剂是由井上遥菜;青岛俊荣;福原敏明设计研发完成,并于2019-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本感光性树脂组合物、固化膜、层叠体及它们的制造方法、半导体器件及在它们中使用的热产碱剂在说明书摘要公布了:本发明提供一种感光性树脂组合物、固化膜、层叠体及它们的制造方法、半导体器件及在它们中使用的热产碱剂,上述感光性树脂组合物含有特定的热产碱剂、选自由聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体组成的组中的至少一种聚合物前体及感光剂,上述聚合物前体及上述感光剂中所含有的酸基和酸产生基团的合计含量为0.5mmolg以下。
本发明授权感光性树脂组合物、固化膜、层叠体及它们的制造方法、半导体器件及在它们中使用的热产碱剂在权利要求书中公布了:1.一种感光性树脂组合物,其含有:选自由下述式(B1-1)表示的热产碱剂及式(B1-2)表示的热产碱剂组成的组中的至少一种热产碱剂;选自由聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体组成的组中的至少一种聚合物前体;及感光剂,所述聚合物前体及所述感光剂中所含有的酸基与酸产生基团的合计含量为0.5mmolg以下; 式(B1-1)及(B1-2)中,R11及R12为环烷基,R31及R32为环烷基,R13为烷基、烯基、芳基或芳基烷基,R33及R34分别独立地为氢原子、烷基、烯基、芳基或芳基烷基,R35为烷基、烯基、芳基或芳基烷基,其中,R11、R12、R13、R31、R32、R33、R34及R35不具有羧基。
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