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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利用于过程控制的管芯内量测方法和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113272736B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980087239.8，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于过程控制的管芯内量测方法和系统是由浦凌凌;方伟;陈仲玮设计研发完成，并于2019-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于过程控制的管芯内量测方法和系统在说明书摘要公布了：提供了用于使用目标设计图案来进行管芯内量测的系统和方法。这些系统和方法包括：基于表示集成电路的设计的设计数据来选择目标设计图案；提供指示目标设计图案的设计数据，以使能够将从目标设计图案导出的设计数据添加到第二设计数据，其中第二设计数据基于第一设计数据。系统和方法还可以包括：使从第二设计数据导出的结构被印刷在晶片上；使用带电粒子束工具来检查晶片上的结构；以及基于检查来标识量测数据或过程缺陷。在一些实施例中，系统和方法还包括：基于经标识的量测数据或过程缺陷来调整带电粒子束工具、第二设计数据、扫描仪或光刻设备。

本发明授权用于过程控制的管芯内量测方法和系统在权利要求书中公布了：1.一种存储指令的集合的非暂时性计算机可读介质，所述指令的集合能够由系统的一个或多个处理器执行以使所述系统执行包括以下的方法：基于表示集成电路的设计的第一设计数据，选择目标设计图案；以及提供指示所述目标设计图案的设计数据，以使从所述目标设计图案导出的设计数据能够被添加到表示所述集成电路的布局设计的第二设计数据，其中所述第二设计数据基于所述第一设计数据，其中所述第一设计数据和所述第二设计数据涉及所述集成电路在管芯上的位置和或所述集成电路的尺寸。

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