恭喜ASML荷兰有限公司S·G·J·马西森获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利用于重叠量测的方法及其设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113260924B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980086975.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于重叠量测的方法及其设备是由S·G·J·马西森;A·J·登鲍埃夫;K·巴塔查里亚设计研发完成，并于2019-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于重叠量测的方法及其设备在说明书摘要公布了：一种方法包括接收在量测设备中形成的图像，其中所述图像至少包括至少两个衍射阶的所得效果，以及处理该图像，其中所述处理至少包括滤波步骤，例如傅立叶滤波。应用滤波器的过程也可以通过在所述量测设备的检测支路中放置孔阑来获得。
本发明授权用于重叠量测的方法及其设备在权利要求书中公布了：1.一种用于在辐射的波长小于量测目标的节距的频段中进行重叠测量的方法，包括：接收在量测设备中形成的图像，其中所述图像至少包括由至少两个非零衍射阶所产生的效果，以及处理所述图像，其中所述处理至少包括滤波步骤，其中，所述非零衍射阶包括正阶和负阶，所述图像是在所述正阶和负阶所形成的图像之间的对准步骤和对准图像的进一步减除之后获得的非对称图像。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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