恭喜佛山市国星半导体技术有限公司余金隆获国家专利权
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龙图腾网恭喜佛山市国星半导体技术有限公司申请的专利一种蓝宝石复合衬底及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111564545B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010497900.7,技术领域涉及:H10H20/84;该发明授权一种蓝宝石复合衬底及其制作方法是由余金隆;庄家铭设计研发完成,并于2020-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种蓝宝石复合衬底及其制作方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种蓝宝石复合衬底及其制作方法,所述复合衬底包括减薄蓝宝石衬底、设于减薄蓝宝石衬底正面的缺陷阻挡层、防止减薄蓝宝石衬底弯曲的增厚层、以及将增厚层粘接在减薄蓝宝石衬底背面的粘接层;所述缺陷阻挡层设有若干个开孔,所述缺陷阻挡层由透明不导电材料制成,所述透明不导电材料的晶格与外延层的晶格相配,所述增厚层由导热材料制成。本发明在减薄蓝宝石衬底上形成设有若干个开孔的缺陷阻挡层,有效减少氮化镓外延材料的位错密度,减少晶格缺陷;在减薄蓝宝石衬底的背面形成增厚层,可以减少衬底发生翘曲。
本发明授权一种蓝宝石复合衬底及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种蓝宝石复合衬底,其特征在于,包括减薄蓝宝石衬底、设于减薄蓝宝石衬底正面的缺陷阻挡层、防止减薄蓝宝石衬底弯曲的增厚层、以及将增厚层粘接在减薄蓝宝石衬底背面的粘接层;所述缺陷阻挡层设有若干个开孔,所述开孔从缺陷阻挡层的表面刻蚀至减薄蓝宝石衬底的正面,所述缺陷阻挡层由透明不导电材料制成,所述透明不导电材料的晶格与外延层的晶格相配;所述增厚层由导热材料制成,所述导热材料的热膨胀系数小于减薄蓝宝石衬底的热膨胀系数;所述缺陷阻挡层与减薄蓝宝石衬底之间设有附着层;多层附着层和缺陷阻挡层交替堆叠形成反射镜结构;所述缺陷阻挡层的厚度为1000~1500nm,所述附着层的厚度为10~100nm。
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