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龙图腾网恭喜武汉锐晶激光芯片技术有限公司申请的专利一种取放晶圆片的引导结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114078727B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010800296.0，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种取放晶圆片的引导结构是由王虎;赵阳;沈俊龙;尚书丽设计研发完成，并于2020-08-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种取放晶圆片的引导结构在说明书摘要公布了：本发明提供了一种取放晶圆片的引导结构，包括：晶圆盒，所述晶圆盒内设置若干晶圆盒卡槽，所述晶圆盒设置第一取放口；引导结构主体，连接在所述晶圆盒设置所述第一取放口的一侧，所述引导结构主体设有与所述第一取放口连通的第二取放口，所述引导结构主体内设置引导结构卡槽，所述引导结构卡槽靠近第一取放口的一侧与所述晶圆盒卡槽连通，所述引导结构卡槽沿着晶圆片取出路径槽宽逐渐扩大。本发明通过设置引导结构主体及其内的引导结构卡槽解决了因晶圆盒内晶圆盒卡槽太窄，而卡住晶圆片导致晶圆片破碎的问题。

本发明授权一种取放晶圆片的引导结构在权利要求书中公布了：1.一种取放晶圆片的引导结构，其特征在于，包括：晶圆盒1，所述晶圆盒1内设置若干晶圆盒卡槽11，所述晶圆盒1设置第一取放口12；引导结构主体2，连接在所述晶圆盒1设置所述第一取放口12的一侧，所述引导结构主体2设有与所述第一取放口12连通的第二取放口21，所述引导结构主体2内设置引导结构卡槽22，所述引导结构卡槽22靠近第一取放口12的一侧与所述晶圆盒卡槽11连通，所述引导结构卡槽22沿着晶圆片5取出路径槽宽逐渐扩大；所述晶圆盒1为相对两侧均设置第一取放口12的结构，所述晶圆盒卡槽11设置在所述晶圆盒1上下两端内壁；所述引导结构主体2为相对两侧均设置第二取放口21的结构，所述晶圆盒1的一个第一取放口12与所述引导结构主体2的一个第二取放口21固定连接且连通，所述引导结构卡槽22设置在所述引导结构主体2上下两端内壁，所述引导结构卡槽22靠近所述一个第二取放口21的一侧与所述晶圆盒卡槽11靠近所述一个第一取放口12的一侧连通；所述引导结构主体2左右两侧均设置第二取放口21，所述引导结构卡槽22设置在所述引导结构主体2上下两端内壁；所述取放晶圆片的引导结构还包括：还包括除尘装置4，连接在所述引导结构主体2前侧或后侧；所述除尘装置4包括：壳体41，固定连接在所述引导结构主体2前侧或后侧，所述引导结构主体2前侧或后侧侧壁设置弧形通孔48；第四滑槽42，设置在所述引导结构主体2前侧或后侧侧壁，所述第四滑槽42内滑动连接有第三滑块45；第五滑槽43，所述引导结构主体2前侧或后侧侧壁设置一个第五滑槽43，所述壳体41与所述一个第五滑槽43相对的一侧壁上设置另一个第五滑槽43，两个第五滑槽43内均滑动连接有第四滑块46，所述第五滑槽43位于所述第四滑槽42下方；第四连接杆44，两端分别与两个第四滑块46固定连接，所述第四连接杆44内设置沿左右方向的第二通孔416，所述第二通孔416内滑动连接有滑杆49；转盘47，通过前后设置的第一转轴转动连接在所述壳体41内，所述转盘47上固定连接有滑杆49；驱动电机，设置在所述壳体41内，用于驱动所述转盘47；齿条410，设置在所述壳体41内，一端通过第三连接杆与所述第三滑块45固定连接，另一端与所述第四连接杆44固定连接；第二转轴411，平行于所述第四连接杆44，所述第二转轴411两端分别与两个第五滑槽43所在的壳体41侧壁或引导结构主体2侧壁转动连接；齿轮412，固定连接在所述第二转轴411上，所述齿轮412与所述齿条410啮合传动；第五连接杆413，设置在所述壳体41内，且平行于所述齿条410设置，所述第五连接杆413一端与所述第二转轴411连接；除尘件414，设置在所述壳体41内，且位于所述第五连接杆413另一端，所述除尘件414输出端连接有除尘管415，所述除尘管415连接在所述弧形通孔48内。

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