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龙图腾网恭喜株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113314435B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011373950.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权衬底处理装置是由泽岛隼;山口贵大;小林健司设计研发完成，并于2020-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本衬底处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底处理装置。所有处理单元中，处理室、药液配管空间及排气室沿着搬送空间排列配置，且从搬送空间侧观察时，在处理室的一侧配置着药液配管空间，并以隔着处理室与药液配管空间对向的方式配置着排气室。由于排气室隔着处理室与药液配管空间对向配置，因此能够防止排气管妨碍配管通过的通路，所述配管是用来向保持在保持旋转部上的衬底供给药液。另外，以往是由2种处理单元构成，而本发明中通过1种处理单元即可解决。因此，能够使零件在所有处理单元中共通化。

本发明授权衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，其特征在于具备：衬底搬送机构，搬送衬底；及多个处理单元，对由所述衬底搬送机构搬送的衬底进行特定的药液处理；且所述多个处理单元沿着所述衬底搬送机构的搬送路径排列配置，并且以隔着所述搬送路径对向的方式相向配置，进而以在上下方向上积层的方式配置，且所述各处理单元具备：处理室，为一区域，在区域中配置着在保持衬底的状态下旋转的保持旋转部，对由所述保持旋转部保持并旋转的衬底进行药液处理，且经由衬底搬送口在与所述衬底搬送机构之间交换衬底；药液配管部，为配置着用来向所述处理室供给药液的药液配管以及设置于所述药液配管的开关阀的区域；及排气室，经由排气口与所述处理室连通以对所述处理室内进行排气，并且与在上下方向上延伸的排气管连通；所述所有处理单元中，所述处理室、所述药液配管部及所述排气室沿着所述搬送路径在水平方向上排列配置，且从所述搬送路径侧观察时，在所述处理室的一侧配置着所述药液配管部，并以隔着所述处理室与所述药液配管部对向的方式配置着所述排气室。

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