恭喜安徽奥飞声学科技有限公司夏永禄获国家专利权
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龙图腾网恭喜安徽奥飞声学科技有限公司申请的专利一种MEMS结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114014254B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111273348.4，技术领域涉及：B81B3/00；该发明授权一种MEMS结构是由夏永禄;刘端设计研发完成，并于2021-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS结构在说明书摘要公布了：本申请公开了一种MEMS结构，包括经空腔分隔开的背板和压电复合振动层，所述背板与所述压电复合振动层构成电容结构，其中，所述压电复合振动层包括依次层叠的振动支撑层、第一电极层、压电层和第二电极层。该MEMS结构结合了压电式MEMS麦克风和电容式MEMS麦克风的特征，在接收相等的声能的条件下，该MEMS结构获得了更多的转换电能，从而提高了输出电能量,获得了较高的灵敏度。
本发明授权一种MEMS结构在权利要求书中公布了：1.一种MEMS结构，其特征在于，包括经空腔分隔开的背板和压电复合振动层，所述背板与所述压电复合振动层构成电容结构，其中，所述压电复合振动层包括依次层叠的振动支撑层、第一电极层、压电层和第二电极层；其中，所述MEMS结构包括一组由电容结构输出的电信号和一组由压电复合振动层输出的电信号；其中，所述背板形成在衬底上方，所述空腔形成在所述背板上方，所述压电复合振动层形成在所述空腔上方；或，所述压电复合振动层形成在衬底上方，所述空腔形成在所述压电复合振动层上方，所述背板形成在所述空腔上方。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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