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龙图腾网恭喜江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种用于金属刻蚀机的刻蚀腔内部沉积面表面处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114188210B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111316991.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种用于金属刻蚀机的刻蚀腔内部沉积面表面处理方法是由陈兆超;郭颂;叶联;孙宏博;车东晨;彭泰彦;胡冬冬;许开东设计研发完成，并于2021-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于金属刻蚀机的刻蚀腔内部沉积面表面处理方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于金属刻蚀机的刻蚀腔内部沉积面表面处理方法，包括：对陶瓷介质窗的内表面进行加工，使陶瓷介质窗直接朝向腔室的部分内表面的粗糙度增加至Ra5～Ra6，且陶瓷介质窗与腔盖之间的密封面的粗糙度降低至R0.4以下；在陶瓷介质窗的外表面上增加热源，使陶瓷介质窗在晶圆加工过程中，维持自身温度在80℃以上。本发明结合增加粗糙度和高温辅助两种辅助方案，使金属刻蚀机反应腔的工艺时沉积膜能够持续不破裂的时间延长至180射频小时以上，继而减少开腔清洗周期，增加产能。

本发明授权一种用于金属刻蚀机的刻蚀腔内部沉积面表面处理方法在权利要求书中公布了：1.一种用于金属刻蚀机的刻蚀腔内部沉积面表面处理方法，其特征在于，所述表面处理方法包括以下步骤：对陶瓷介质窗的内表面进行加工，使陶瓷介质窗直接朝向腔室的部分内表面的粗糙度增加至Ra5～Ra6，且陶瓷介质窗与腔盖之间的密封面的粗糙度降低至R0.4以下；在陶瓷介质窗的外表面上增加热源，使陶瓷介质窗在晶圆加工过程中，维持自身温度在80℃以上；所述对陶瓷介质窗的内表面进行加工的过程包括以下步骤：采用厚度20mm～30mm范围内的陶瓷型胚烧制得到陶瓷介质窗的初步半成品；在机床上进行整体尺寸精加工，使陶瓷介质窗的粗糙度降低至Ra0.8以下，厚度维持在15mm～25mm范围内；采用牛纸膜覆盖陶瓷介质窗与腔盖接触的第一内表面区域；对陶瓷介质窗直接朝向腔室的第二内表面区域进行喷砂处理，使第二内表面区域的粗糙度增加至Ra5～Ra6；去除牛纸膜，对第一内表面区域进行抛光处理，使第一内表面区域的粗糙度降低至R0.4以下，得到最终的陶瓷介质窗的成品。

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