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龙图腾网恭喜浙江新纳陶瓷新材有限公司申请的专利一种静电吸盘的组装方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114388423B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210054190.X，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种静电吸盘的组装方法是由马俊峰;张伟泉;张巍;王风华;朱顺存设计研发完成，并于2022-01-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种静电吸盘的组装方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种静电吸盘的组装方法，包括：提供一基座；通过第一粘结层将陶瓷盘固定在所述基座的一侧，所述陶瓷盘背离所述基座的表面的平整度小于或等于2丝。其中所述基座与所述陶瓷盘通过第一粘结层进行组装，在组装的过程中通过控制第一粘结层和或陶瓷盘自身的平整度，以确保组装完成后陶瓷盘背离所述基座的表面的平整度小于或等于2丝，进而达到工艺所需的平整度要求。

本发明授权一种静电吸盘的组装方法在权利要求书中公布了：1.一种静电吸盘的组装方法，其特征在于，所述组装方法包括：提供一基座；通过第一粘结层将陶瓷盘固定在所述基座的一侧，所述陶瓷盘背离所述基座的表面的平整度小于或等于2丝；其中，所述基座与所述陶瓷盘通过第一粘结层进行组装，在组装的过程中通过控制第一粘结层的平整度，以确保组装完成后陶瓷盘背离所述基座的表面的平整度小于或等于2丝；其中，所述通过第一粘结层将陶瓷盘固定在所述基座的一侧，所述陶瓷盘背离所述基座的表面的平整度小于或等于2丝，包括：在所述基座的一侧进行涂胶处理形成所述第一粘结层，所述第一粘结层背离所述基座的表面的平整度小于所述陶瓷盘背离所述基座的表面的平整度；将所述陶瓷盘放置在所述第一粘结层背离所述基座的一侧进行压合处理；其中，所述在所述基座的一侧进行涂胶处理形成所述第一粘结层，所述第一粘结层背离所述基座的表面的平整度小于所述陶瓷盘背离所述基座的表面的平整度，包括：采用300目-400目的丝网在所述基座的一侧进行印刷涂胶处理形成所述第一粘结层，所述第一粘结层背离所述基座的表面的平整度小于所述陶瓷盘背离所述基座的表面的平整度；其中，在固定所述陶瓷盘之前，所述组装方法还包括：通过第二粘结层将加热盘固定在所述基座的一侧；其中，所述通过第一粘结层将陶瓷盘固定在所述基座的一侧，所述陶瓷盘背离所述基座的表面的平整度小于或等于2丝，包括：通过第一粘结层将陶瓷盘固定在所述加热盘背离所述基座的一侧，所述陶瓷盘背离所述基座的表面的平整度小于或等于2丝；其中，所述通过第二粘结层将加热盘固定在所述基座的一侧，包括：在所述基座的一侧进行涂胶处理形成所述第二粘结层；将所述加热盘放置在所述第二粘结层背离所述基座的一侧进行压合处理，所述第二粘结层背离所述基座的表面的平整度小于所述加热盘背离所述基座的表面的平整度，所述加热盘背离所述基座的表面的平整度小于所述第一粘结层背离所述基座的表面的平整度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江新纳陶瓷新材有限公司，其通讯地址为：322118 浙江省金华市东阳市横店镇工业大道155号新纳陶瓷；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。