恭喜湖南大学杨鑫获国家专利权
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龙图腾网恭喜湖南大学申请的专利一种IGBT芯片及其驱动方法、存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114937696B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210392797.9,技术领域涉及:H10D12/00;该发明授权一种IGBT芯片及其驱动方法、存储介质是由杨鑫;徐思维设计研发完成,并于2022-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种IGBT芯片及其驱动方法、存储介质在说明书摘要公布了:本发明提供一种IGBT芯片及其驱动方法、存储介质。IGBT芯片包括元胞,元胞由两个第一结构拼接而成;第一结构包括N型衬底、第一栅极和第二栅极;N型衬底上表面开设凹槽,第一栅极为设置在N型衬底上的第一栅极510,第二栅极的至少部分伸入凹槽,第二栅极与第一栅极在N型衬底上表面的投影之间的间距为d,d的取值范围为100埃米~200埃米;第一栅极下方设置有第一有源区,凹槽的远离第一栅极一侧设置有第二有源区;第一有源区、第二有源区均设置于N型衬底上;各个元胞的第一有源区中的第一金属层、第二有源区中的第二金属层相互接触从而形成IGBT芯片的发射极;各个元胞的N型衬底相互接触从而形成一体结构。
本发明授权一种IGBT芯片及其驱动方法、存储介质在权利要求书中公布了:1.一种IGBT芯片,包括元胞,所述元胞由对称设置的两个第一结构拼接而成;所述第一结构包括N型衬底(503)、第一栅极(510)、第二栅极(508);所述第一栅极(510)和第二栅极(508)通过氧化层(509)隔开;所述N型衬底(503)上表面开设有沿着N型衬底(503)高度方向向下伸入N型衬底(503)的凹槽(1),所述第一栅极(510)为设置在N型衬底(503)上的第一栅极(510),所述第二栅极(508)的至少部分伸入所述凹槽(1),所述第一栅极和第二栅极之间的氧化层厚度d不小于100埃米;所述第一栅极(510)下方设置有第一有源区,所述凹槽(1)的远离第一栅极(510)一侧设置有第二有源区;所述第一有源区、第二有源区均设置于N型衬底(503)上;各个元胞的第一有源区中的第一金属层(5061)、第二有源区中的第二金属层(5062)相互接触从而形成IGBT芯片的发射极;各个元胞的N型衬底(503)相互接触从而形成一体结构;所述第一有源区包括相邻设置的第一N+掺杂区(5071)、第一金属层(5061);所述第一金属层(5061)位于第一N+掺杂区(5071)的远离第二栅极(508)一侧;所述第一有源区还包括形成在N型衬底(503)中的第一N阱区(5041)、位于第一N阱区(5041)上的第一P阱区(5051)、位于第一P阱区(5051)上的第一N+掺杂区(5071)和第一金属层(5061),第一P阱区(5051)绕设在第一N+掺杂区(5071)和第一金属层(5061)外侧,第一N阱区(5041)绕设在第一P阱区(5051)外侧;所述第一N+掺杂区(5071)的上端面、第一P阱区(5051)的上端面、第一N阱区(5041)的上端面均朝向第一栅极(510)设置;所述第二有源区包括在N型衬底(503)高度方向由上到下依次设置的第二N+掺杂区(5072)、第二P阱区(5052)、第二N阱区(5042),还包括与第二N+掺杂区(5072)相邻设置且位于第二P阱区(5052)上的第二金属层(5062);所述第二金属层(5062)位于第二N+掺杂区(5072)的远离第一栅极(510)一侧;所述第二N+掺杂区(5072)的壁面、第二P阱区(5052)的壁面、第二N阱区(5042)的壁面至少形成所述凹槽(1)的远离第一栅极(510)的壁面的部分或全部;在一个元胞中,其中一个第一结构的第二有源区的第二金属层(5062)、第二P阱区(5052)、第二N阱区(5042)与另一个第一结构的第二有源区的第二金属层(5062)、第二P阱区(5052)、第二N阱区(5042)分别对应接触。
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