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龙图腾网恭喜深圳市中图仪器股份有限公司申请的专利用于提高测量精度的补偿光路结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115014210B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210468813.8，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权用于提高测量精度的补偿光路结构是由张和君;张琥杰设计研发完成，并于2022-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于提高测量精度的补偿光路结构在说明书摘要公布了：本公开描述了一种用于提高测量精度的补偿光路结构，重建装置包括用于获取目标点的初始高度的测量光路结构和补偿光路结构，补偿光路结构包括第一发生模块、分光模块、干涉物镜、以及数据处理模块，第一发生模块用于产生带宽不大于第一预设值的补偿光束，分光模块包括第一分光单元和第二分光单元，第一分光单元配置为接收补偿光束并将补偿光束反射至干涉物镜，补偿光束在干涉物镜形成补偿反射光束，数据处理模块基于补偿反射光束对初始高度进行补偿以获得综合测量高度。根据本公开，能够提供一种对目标点的测量高度进行补偿以提高目标点的测量精度的补偿光路结构。

本发明授权用于提高测量精度的补偿光路结构在权利要求书中公布了：1.一种用于提高测量精度的补偿光路结构，是用于提高重建装置测量多个目标点的高度时的测量精度的补偿光路结构，其特征在于，所述重建装置包括用于获取多个所述目标点的初始高度的测量光路结构和所述补偿光路结构，所述补偿光路结构包括第一发生模块、分光模块、干涉物镜、以及数据处理模块，所述第一发生模块用于产生带宽不大于第一预设值的补偿光束，所述分光模块包括第一分光单元和第二分光单元，所述第一分光单元配置为接收补偿光束并将补偿光束反射至所述干涉物镜，补偿光束在所述干涉物镜形成补偿反射光束；第一接收模块，与所述数据处理模块信号连接，所述第一接收模块包括多个第一接收单元和设置于所述多个第一接收单元和所述第二分光单元之间的第一透镜单元，所述多个第一接收单元配置为接收经由所述第二分光单元反射的补偿反射光束并形成补偿干涉信号，所述补偿光束配置为使得在整个扫描行程中都能形成所述补偿干涉信号的窄带光束，所述数据处理模块基于所述补偿反射光束的所述补偿干涉信号计算环境振动所带来的误差以获得多个所述目标点的振动信息，基于多个振动信息合成振动面，并基于所述振动信息对所述初始高度进行补偿以直接获得综合测量高度，基于所述振动面对所述目标点的角度变化进行补偿；所述重建装置还配置以使得所述补偿光路结构的补偿信息与所述测量光路结构的测量信息同步。

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