恭喜中国电子科技集团公司第十三研究所张晓东获国家专利权
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龙图腾网恭喜中国电子科技集团公司第十三研究所申请的专利标准样板定值方法、装置、终端设备及标准样板获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115266487B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210671506.X，技术领域涉及：G01N15/0227；该发明授权标准样板定值方法、装置、终端设备及标准样板是由张晓东;赵琳;韩志国;李锁印;徐森锋;许晓青;张家欢;吴爱华设计研发完成，并于2022-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本标准样板定值方法、装置、终端设备及标准样板在说明书摘要公布了：本申请适用于微电子计量技术领域，提供了一种标准样板定值方法、装置、终端设备及标准样板。该方法包括：获取制备得到的标准样板的特征图像；其中，标准样板为刻蚀有多个镂空柱状结构的晶圆，特征图像包括镂空柱状结构对应的底面图像；在特征图像上建立直角坐标系，确定底面图像的轮廓点坐标，根据轮廓点坐标确定底面图像的圆心坐标与半径；选取特征图像上多个定值区域，根据各个定值区域内底面图像的数目与半径分别确定各个定值区域的平均半径，根据平均半径确定标准样板的标准粒径。本申请能够精准确定标准样板的标准粒径，以使标准样板可以用于晶圆表面颗粒度检测仪的有效校准。
本发明授权标准样板定值方法、装置、终端设备及标准样板在权利要求书中公布了：1.一种标准样板定值方法，其特征在于，包括：获取制备得到的标准样板的特征图像；其中，所述标准样板为刻蚀有多个镂空柱状结构的晶圆，所述特征图像包括所述镂空柱状结构对应的底面图像；在所述特征图像上建立直角坐标系，确定所述底面图像的轮廓点坐标，根据所述轮廓点坐标确定所述底面图像的圆心坐标与半径；选取所述特征图像上多个定值区域，根据各个定值区域内底面图像的数目与半径分别确定各个定值区域的平均半径，根据所述平均半径确定标准样板的标准粒径；其中，各个定值区域内的底面图像基于各个定值区域的边框坐标与底面图像的圆心坐标确定。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国电子科技集团公司第十三研究所，其通讯地址为：050051 河北省石家庄市合作路113号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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