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龙图腾网恭喜江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利除尘装置及真空镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115555129B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211150361.5，技术领域涉及：B03C3/017；该发明授权除尘装置及真空镀膜设备是由张鹤;廖宝臣;吴兴华设计研发完成，并于2022-09-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本除尘装置及真空镀膜设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种除尘装置及真空镀膜设备，除尘装置包括第一除尘组件；以及第二除尘组件，与第一除尘组件相对且间隔设置，以在两者之间形成气体流通通道；其中，第一除尘组件和第二除尘组件被配置为能够在气体流通通道内同时形成具有重叠区域的温度场和静电场，温度场及静电场均能够提供使粉尘朝第二除尘组件运动的作用力。在粉尘经过除尘装置时，能够在温度场和静电场的双重作用下，将粉尘收集至第二除尘组件上，而不会堵塞整个气体流通通道，确保了真空镀膜设备的有效抽速，提高了镀膜工艺的稳定性和大规模镀膜品质的重复性。

本发明授权除尘装置及真空镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种除尘装置，其特征在于，包括：第一除尘组件；以及第二除尘组件，与所述第一除尘组件相对且间隔设置，以在两者之间形成气体流通通道；所述第二除尘组件还具有粉尘收集腔，所述粉尘收集腔与所述气体流通通道连通；所述第二除尘组件的一侧具有与所述粉尘收集腔连通的开口，所述开口朝向所述第一除尘组件设置；其中，所述第一除尘组件和所述第二除尘组件被配置为能够在所述气体流通通道内同时形成具有重叠区域的温度场和静电场，所述温度场及所述静电场均能够提供使粉尘朝所述第二除尘组件运动的作用力；所述气体流通通道沿其延伸方向包括依次连通的第一子通道和第二子通道，所述第一子通道相对所述第二子通道倾斜设置；所述第一子通道和所述第二子通道均包括进口和出口，所述第一子通道的所述出口更靠近所述第二除尘组件设置，且相对所述第二除尘组件倾斜，所述第二子通道的所述进口更靠近所述第二除尘组件设置，且相对所述第二除尘组件倾斜；壳体，所述壳体具有除尘腔，所述第一除尘组件设于所述除尘腔内，所述第二除尘组件设于所述壳体的外侧，所述壳体还开设有连通孔，所述第二除尘组件通过所述连通孔与所述除尘腔连通。

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