龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：铭扬半导体科技(合肥)有限公司
申请日：2024-05-24
公开（公告）日：2025-01-10
公开（公告）号：CN222327795U
专利技术分类：...以研磨垫表面的形状为特征，如带有槽的[2012.01]
专利摘要：本实用新型公开了一种抛光垫、抛光设备的抛光盘和抛光设备，抛光垫包括：抛光垫主体，抛光垫主体上设置有抛光花纹，抛光花纹包括第一弧形纹路和第二弧形纹路，第一弧形纹路为多个，多个第一弧形纹路的一端沿抛光垫主体的中心周向间隔设置，多个第一弧形纹路的另一端朝向抛光垫主体的边缘延伸设置，多个第一弧形纹路整体呈螺旋形，第二弧形纹路间隔设置于至少两个相邻的第一弧形纹路之间。由此，通过将多个第一弧形纹路整体设置呈螺旋形，并且将第二弧形纹路间隔设置于至少两个相邻的第一弧形纹路之间，这样可以使抛光流道更多，从而可以使抛光液分布均匀，并且抛光花纹之间没有交错形成的尖角，减少了抛光垫对料片造成的划伤。
专利权项：1.一种抛光垫，其特征在于，包括：抛光垫主体21，所述抛光垫主体21上设置有抛光花纹22，所述抛光花纹22包括第一弧形纹路221和第二弧形纹路223，所述第一弧形纹路221为多个，多个所述第一弧形纹路221的一端均位于所述抛光垫主体21的中心，多个所述第一弧形纹路221的一端沿所述抛光垫主体21的中心周向间隔设置，多个所述第一弧形纹路221的另一端朝向所述抛光垫主体21的边缘延伸设置，多个所述第一弧形纹路221整体呈螺旋形，所述第二弧形纹路223间隔设置于至少两个相邻的所述第一弧形纹路221之间。
百度查询： 铭扬半导体科技(合肥)有限公司 抛光垫、抛光设备的抛光盘和抛光设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号