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一种弹性波谐振器及弹性波滤波器装置 

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摘要:本发明公开了一种弹性波谐振器及弹性波滤波器装置,弹性波谐振器包括至少两个串联设置的子谐振器;子谐振器均包括叉指换能器以及反射栅;叉指换能器包括多个叉指电极,即多个第一叉指电极和多个第二叉指电极;反射栅包括多个第三指状电极;相邻两个子谐振器中,存在至少两项结构参数不同;结构参数包括叉指电极的周期、叉指电极的数量、第三指状电极的数量、子谐振器的孔径、叉指电极的宽度,第一叉指电极的长度、叉指电极的间隙、叉指电极的厚度、叉指电极的占空比、第一叉指电极的边界轮廓、叉指电极的连接方式和叉指电极的材料配比,如此能改善级联谐振器中的杂波响应叠加,减弱弹性波谐振器禁带内的杂波寄生,提高谐振器性能。

主权项:1.一种弹性波谐振器,其特征在于,包括:至少两个串联设置的子谐振器;相邻两个所述子谐振器通过同一公共汇流条电连接,且所述子谐振器均包括叉指换能器以及沿第一方向位于所述叉指换能器两侧的反射栅;所述叉指换能器包括多个叉指电极,多个所述叉指电极包括多个第一叉指电极以及多个第二叉指电极,所述第一叉指电极以及所述第二叉指电极沿所述第一方向依次交替排列且均沿第二方向延伸;沿所述第二方向,所述第一叉指电极的延伸长度小于所述第二叉指电极的延伸长度;所述第一方向与所述第二方向相交;所述反射栅包括多个第三指状电极,多个所述第三指状电极沿所述第一方向排列且均沿所述第二方向延伸;相邻两个所述子谐振器中,存在至少两项结构参数不同;其中,所述结构参数包括所述叉指电极的周期、所述叉指电极的数量、所述第三指状电极的数量、所述子谐振器的孔径、所述叉指电极的宽度,所述第一叉指电极的长度、所述叉指电极的间隙、所述叉指电极的厚度、所述叉指电极的占空比、所述第一叉指电极的边界轮廓、所述叉指电极的连接方式和所述叉指电极的材料配比;其中,所述子谐振器的孔径为所述第二叉指电极的交叠区域在所述第二方向的尺寸;所述叉指电极的间隙为沿所述第二方向,所述第一叉指电极远离汇流条一侧的端部与所述第二叉指电极远离汇流条一侧的端部之间的距离;所述叉指电极的材料包括铝、铜以及金中的至少一种;其中,相邻两个所述子谐振器中,所述叉指电极的周期之间的差值为p1、所述叉指电极的宽度之间的差值为p2、所述叉指电极的占空比之间的差值为p3以及所述叉指电极的厚度之间的差值为p4;其中,p1≤30%,p2≤30%,p3≤30%,p4≤30%;相邻两个所述子谐振器中,所述子谐振器的孔径之间的差值为p5、所述第一叉指电极的长度之间的差值为p6以及所述叉指电极的间隙之间的差值为p7,其中,5%≤p5≤50%,10%≤p6≤50%,10%≤p7≤50%;相邻两个所述子谐振器中,所述叉指电极的材料配比之间差值为p8,其中,10%≤p8≤40%。

权利要求:

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