龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明涉及一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法，其包含以下步骤：提供带电粒子射束以及样品，以及在所述样品上扫描所述带电粒子射束。第一检测器用于响应于在所述样品上扫描的所述射束检测来自所述样品的第一类型的发射；使用检测到的所述第一类型的发射的光谱信息，将多个相互不同的相位分配给所述样品。提供了所述样品的图像表示，其中所述图像表示含有不同的色调。以这类方式从预选的连续色调范围中选择色调，使得所述选择的色调包含在所述预选的连续色调范围内的相互对应的间隔。
主权项：1.一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法，其包含以下步骤：提供带电粒子射束以及样品；在所述样品上扫描所述带电粒子射束；使用第一检测器响应于在所述样品上扫描的所述射束检测来自所述样品的第一类型的发射；使用检测到的所述第一类型的发射的光谱信息，将多个相互不同的相位分配给所述样品；参考HSV颜色空间，将对应的多个不同色调与所述多个相互不同的相位相关联；和由控制单元提供所述样品的图像表示，其中所述图像表示含有所述相关联的不同色调；其特征在于以下步骤：提供预选的连续色调范围；以这种方式从所述预选的连续色调范围中选择所述多个不同的色调，使得所述选择的色调包含在所述预选的连续色调范围内的相互对应的间隔；选择所述预选的连续色调范围内的固定色调间隔角以为每个附加相位选择附加色调，以便确保从最大的未使用间隙中选择下一种颜色并且在给定模型的情况下，颜色不会重复尽可能长的时间；和将所述选择的色调与所述多个相互不同的相位相关联。
权利要求：
百度查询： FEI公司 使用带电粒子显微镜检查样品的方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号