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摘要:公开了一种用于使用电介质部分地悬置压电层的装置。在示例方面,该装置包括具有基底层126、压电层128、与该压电层接触的电极结构310以及电介质130的微声滤波器。该电极结构包括多个指状物,该多个指状物跨具有垂直于该多个指状物的第一轴406和平行于该多个指状物的第二轴408的平面布置。该电介质被配置为将该压电层与该基底层隔开并且在该压电层与该基底层之间限定腔体316。该电介质还被配置为跨沿该第一轴的至少三个点314支撑该压电层。
主权项:1.一种装置,所述装置包括:微声滤波器,所述微声滤波器包括:基底层;压电层;电极结构,所述电极结构与所述压电层接触,所述电极结构包括多个指状物,所述多个指状物跨具有垂直于所述多个指状物的第一轴和平行于所述多个指状物的第二轴的平面布置;和电介质,所述电介质被配置为:将所述压电层与所述基底层隔开;在所述压电层与所述基底层之间限定腔体;以及跨沿所述第一轴的至少三个点支撑所述压电层。
权利要求:
百度查询: RF360新加坡私人有限公司 使用电介质部分地悬置压电层
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