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摘要：本发明提供了一种再生镍铂合金靶材及其制备方法。所述制备方法包括：1对镍铂合金残靶进行预处理；2对预处理后的镍铂合金残靶进行悬浮熔炼，冷却后得到镍铂合金铸锭；3对所述镍铂合金铸锭依次进行塑性加工、均匀化退火、热轧和再结晶退火，得到所述再生镍铂合金靶材。本发明采用物理方法，在不改变材料基本成分的情况下将镍铂合金残靶重新制备成符合溅射使用要求的高纯度靶材，过程简单，生产效率高，利于材料的快速周转，且无需用到大量酸，便于在实际生产中推广。
主权项：1.一种再生镍铂合金靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：1对镍铂合金残靶进行预处理；2对预处理后的镍铂合金残靶进行悬浮熔炼，冷却后得到镍铂合金铸锭；3对所述镍铂合金铸锭依次进行塑性加工、均匀化退火、热轧和再结晶退火，得到所述再生镍铂合金靶材。
权利要求：
百度查询： 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种再生镍铂合金靶材及其制备方法
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