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摘要：本发明涉及晶圆加工技术领域，具体公开了一种复合机器人，该复合机器人包括底座、机械臂和轮组。其中，底座的前部具有安装部；机械臂设于底座上；轮组设于底座的底部，用于带动底座移动，轮组包括设于底座后端的后轮组件和设于底座前端的前轮组件，后轮组件包括第一后滚轮和第二后滚轮，第一后滚轮和第二后滚轮沿宽度方向间隔设置；在宽度方向，安装部位于第一后滚轮和第二后滚轮之间；前轮组件包括桥接件、第一前滚轮和第二前滚轮，桥接件的中部设有铰接部，桥接件通过铰接部铰接于安装部且能绕铰接部的轴线摆动，第一前滚轮和第二前滚轮分别设于桥接件的两端。上述设置有利于保证机械臂末端的晶圆放置位置的精准性以及安全性。
主权项：1.复合机器人，其特征在于，包括：底座100，所述底座100的前部具有安装部；机械臂200，所述机械臂200设于所述底座100上；轮组，所述轮组设于所述底座100的底部，用于带动所述底座100移动，所述轮组包括设于所述底座100后端的后轮组件300和设于所述底座100前端的前轮组件400，所述后轮组件300包括第一后滚轮310和第二后滚轮320，所述第一后滚轮310和第二后滚轮320沿宽度方向间隔设置；在宽度方向，所述安装部位于所述第一后滚轮310和所述第二后滚轮320之间；所述前轮组件400包括桥接件410、第一前滚轮420和第二前滚轮430，所述桥接件410的中部设有铰接部，所述桥接件410通过所述铰接部铰接于所述安装部且能绕所述铰接部的轴线摆动，所述第一前滚轮420和第二前滚轮430分别设于所述桥接件410的两端；所述第一前滚轮420和所述第二前滚轮430中的一个上升时，另一个同步下降。
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