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摘要：本发明公开了一种基于激光破坏样品的残余气体分析装置，其包括样品室、分析室、全金属角阀、针阀、激光器、全量程真空计、冷阴极电离真空计、残余气体分析仪、分子泵组、带孔无氧铜板、氮气瓶、加热带、调压器、温度计、电源。本发明利用真空系统外置激光器破坏样品，具有准确、便捷、利于维持真空环境的优点。实验通过静态升压法和小孔流导法两种方法对待测样品内残余气体进行气量测试以及成分分析。

主权项：1.一种基于激光破坏样品的残余气体分析装置，其特征在于：包括样品室、分析室、全金属角阀、针阀、激光器、全量程真空计、冷阴极电离真空计、残余气体分析仪、分子泵组、带孔无氧铜板、氮气瓶、加热带、调压器、温度计、电源；所述的样品室具有五个法兰接口，其一安装观察窗，其余四个法兰接口分别与全量程真空计，第一、第二全金属角阀，针阀连接，针阀另一端与氮气瓶减压阀连接，第一、第二全金属角阀分别连接抽气管路和流导管路，所述分析室具有四个法兰口，其一通过法兰三通与抽气管路和流导管路连接，其一通过全金属角阀与分子泵组连接，其余两个法兰口分别与残余气体分析仪，冷阴极电离真空计连接；所述的带孔无氧铜板是为了使残余气体分析仪有足够的测试时间对待测气体进行采样分析，因此需要选择合适的小孔流导来限制分子泵对残余气体的抽速，无氧铜板小孔的理论尺寸可以由下面过程计算得出：根据波义耳定律计算破坏样品后样品室中的真空度并把此时记为t＝0：P1t＝0V1＝P2V2式中，P1是样品室压强，V1是样品室体积，P2是待测样品内部压强，V2是待测样品内部体积，可预估破坏样品后P1的大小；测试过程中，通过小孔的气体流量为：q＝C×P1-P3式中，C是小孔流导，P3是分析室真空度；对于样品室，可列出抽气方程： 式中，Qout是样品室本底漏放气；由于分析室真空度远小于样品室，因此上式可以简化为： 带入边界条件t＝0，P1＝P1t＝0解微分方程可得： 假设系统的极限压强为Plim，残余气体分析仪一轮采样时间为t0，则可以计算得出无氧铜板上小孔的可选最大流导为： 对于20℃空气，分子流下小孔的流导计算公式为：C＝9.1d2式中d为无氧铜板上小孔的直径，单位厘米；联立以上两式，可理论计算出小孔的尺寸选择。

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百度查询： 合肥工业大学 一种基于激光破坏样品的残余气体分析装置及方法