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一种超低光损荧光光谱检测合成棱镜及其制作方法 

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摘要:本发明涉及一种超低光损荧光光谱检测合成棱镜,包括四个直角棱镜,所述四个直角棱镜的直角面相互胶合,直角棱镜的接合面之间还设有分光膜层和胶水层,其中两个直角棱镜的一个直面镀有波长365nm高反,波长405nm和436nm高透长波通滤光膜,另一个直角面不镀膜,斜面镀有365~436nm的增透膜;另外两个直角棱镜的一个直角面镀有波长436nm高反,波长365nm和405nm高透短波通滤光膜,另一个直角面不镀膜;斜面镀有365~436nm的增透膜。因光线45度入射,光线P‑分量和S‑分量有效折射率差异导致P偏振光和S偏振光分离,设计的由高折射率Ta2O5层和中折射率M2层交叠构成的长波通薄膜和短波通滤光膜,其优势在于偏振过渡带窄,有效克服现有滤光片角度装配偏差问题,解决常规合成棱镜只使用部分偏振光导致光强损失50%的问题。

主权项:1.一种超低光损荧光光谱检测合成棱镜,其特征在于:包括四个直角棱镜,所述四个直角棱镜的直角面相互胶合,所述四个直角棱镜采用同一基板材料,所述直角棱镜的接合面之间还设有分光膜层和胶水层,其中所述两个直角棱镜的一个直面镀有波长365nm高反,波长405nm和436nm高透长波通滤光膜,另一个直角面不镀膜,斜面镀有365~436nm的增透膜;所述另外两个直角棱镜的一个直角面镀有波长436nm高反,波长365nm和405nm高透短波通滤光膜,另一个直角面不镀膜;斜面镀有365~436nm的增透膜;所述波长365nm高反,波长405nm和436nm高透长波通滤光膜为由高折射率介质Ta2O5层和中折射率混合介质M2层依次交叠而成的多层介质薄膜结构,其层数为39层,且该长波通滤光膜的光谱指标为T98%@405436nm,R99%@365nm,AOI=45°,其中T表示透过率,R为反射率,AOI为光线入射角度;所述长波通滤光膜的层数为39层,各层依照直角面从近到远的顺序依次为:0.7316H、0.8273M、0.9855H、0.9855M、1.0598H、1.0186M、1.0702H、0.9604M、1.1765H、0.5738M、1.1923H、1.0928M、1.0607H、1.0707M、1.1298H、0.6786M、1.1172H、1.0101M、1.0533H、1.0485M、1.0529H、1.0112M、1.1169H、0.6783M、1.1292H、1.0713M、1.0604H、1.0935M、1.1929H、0.5731M、1.176H、0.9607M、1.0704H、1.0188M、1.0601H、0.9848M、0.9852H、0.8281M、0.7312H,其中数值+H代表对应14波长光学厚度的Ta2O5层,数值+M代表对应14波长光学厚度的M2层,该长波通介质薄膜的中心波长为405nm;所述波长436nm高反,波长365nm和405nm高透短波通滤光膜为由高折射率介质Ta2O5层和中折射率混合介质M2层依次交叠而成的多层介质薄膜结构,其层数为53层,且该短波通滤光膜的光谱指标为:T98%@365405nm,R99%@436nm,AOI=45°,其中T表示透过率,R为反射率,AOI为光线入射角度;所述长波通滤光膜的层数为53层,各层依照直角面从近到远的顺序依次为:1.8139H、1.4066M、1.1332H、1.0312M、2.0809H、0.7745M、1.4515H、0.8224M、1.8668H、0.6814M、2.0021H、0.9899M、1.0419H、0.923M、2.2271H、0.9525M、1.0554H、0.9969M、1.9058H、0.6619M、1.9654H、1.0036M、1.0351H、0.9604M、2.2253H、0.926M、1.0515H、1.0087M、1.9018H、0.678M、1.9557H、0.9891M、1.0488H、0.9388M、2.2187H、0.9486M、1.0376H、1.0052M、1.9542H、0.666M、1.9337H、0.9584M、1.1122H、0.8583M、2.2024H、1.0045M、1.0422H、1.0519M、2.2268H、0.9067M、1.302H、1.3143M、1.806H,其中数值+H代表对应14波长光学厚度的Ta2O5层,数值+M代表对应14波长光学厚度的M2层,该短波通介质薄膜的中心波长为405nm。

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